في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن قدرة أجهزة المعالجة على التكرار ليست ميزة إضافية، بل هي جزء أساسي من العملية نفسها. أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 2 درجة مئوية أثناء عملية التسخين يمكن أن يؤثر على دقة التحكم في الأبعاد الحرجة للرقاقات، كما أن وجود جسيمات واحدة فقط يمكن أن يدمر كامل دفعة الإنتاج. لذلك، صممنا مصابيح الأشعة تحت الحمراء التي لا تنتج أوزونًا، حتى نتمكن من التخلص من هذه المشاكل.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ تعمل هذه المصابيح باستخدام الأشعة تحت الحمراء، دون إنتاج أوزون، مما يعني أنه لا حاجة إلى استخدام محولات كاتاليتيكية أو التعامل مع مشاكل الصيانة المرتبطة بها. في المنطقة المضاءة، تظل درجة الحرارة مستقرة عند ±0.1 درجة مئوية، كما أن قدرة التكرار بين الدفعات المختلفة تظل ضمن نطاق ±0.2 درجة مئوية.
تم تصميم النظام ليتناسب مع غرف العمل من الفئة 1 إلى 100: حيث تُستخدم مواد قليلة الانبعاثات، بالإضافة إلى مسارات بصرية مغلقة، ونظام تدفق هواء يحافظ على بعد الجسيمات عن الرقاقات. استقرار الإخراج يكون أقل من 1% خلال أكثر من 5,000 ساعة، مما يعني أن النظام يمكنه العمل بشكل مستمر دون الحاجة إلى إعادة ضبط مستمرة.
لماذا يعمل النظام بشكل جيد في الإنتاج؟ تعتمد عملية معالجة المواد الفوتوريزيستية على التحكم في درجة الحرارة. تقوم مصابيح الأشعة تحت الحمراء بتسخين الرقاقات بسرعة، مع التحكم الدقيق في درجة الحرارة، مما يضمن استقرار الحرارة من دفعة إلى أخرى. ونتيجة لذلك، تكون درجة الحرارة أكثر استقرارًا، ويقل عدد عمليات إعادة المعالجة، كما يمكن التخطيط لمعدلات الإنتاج بشكل أفضل.
نظرًا لأن المصابيح تصل إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة وتحافظ عليها دون تجاوزها، فإن استهلاك الطاقة يقل. كما أن الفترة الطويلة بين عمليات الصيانة تقلل من الحاجة إلى قطع الغيار وتكاليف الصيانة. في المراحل المتقدمة من الإنتاج، فإن عدم إنتاج أوزون، وانخفاض عدد الجسيمات، بالإضافة إلى التحكم الدقيق في درجة الحرارة، يساعد في حماية الرقاقات وبيئة الأدوات المستخدمة في الإنتاج.
ما الذي يجب أخذه في الاعتبار؟ تتوافق هذه المصابيح مع واجهات المعدات النصفية القياسية، لكن مسار التبريد مهم جدًا. يجب أن يأخذ التركيب في الاعتبار كيفية تبريد الأداة ومسار تدفق الهواء؛ فإذا لم يكن تصميم التبريد صحيحًا، فإن الاستقرار على المدى الطويل سيتأثر.
يجب إجراء اختبارات قصيرة للتأكد من أن درجة الحرارة المطلوبة تتم تحقيقها بشكل صحيح. بمجرد تحقيق هذا التوافق، يمكن الاستمرار في العملية بشكل مستقر.