On the lithography floor, আপনি জানেন কাজের পদ্ধতি। ফটোরেজিস্ট বেকিং চলাকালীন 1°C তাপমাত্রার ওঠানামা পুরো লট নষ্ট করার জন্য যথেষ্ট। তাপ নিয়ন্ত্রণকে একটি সেটপয়েন্টের মতো কাজ করতে হবে, কোনও এলোমেলো পরিবর্তনের মতো নয়। এজন্যই আমরা সেমিকন্ডাক্টর-গ্রেড হিটিংয়ের জন্য অ্যালুমিনিয়াম IR রিফ্লেক্টর তৈরি করেছি, যেখানে উৎপাদন পুনরাবৃত্তির উপর নির্ভর করে।
প্রযুক্তিগত দিক থেকে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়সমূহ
আমরা রিফ্লেক্টরের জ্যামিতি এবং সারফেস ফিনিশ এমনভাবে সামঞ্জস্য করি যাতে ওয়াফারে ±0.1°C এর মধ্যে তাপমাত্রার সমতা থাকে, ফলে আপনার থার্মাল বাজেট সফট বেক এবং হার্ড বেকের সময় স্থিতিশীল থাকে। এটি ক্লিনরুম-সমর্থিত, Class 1–100 এর জন্য উপযোগী, এবং পার্টিকেল নিয়ন্ত্রিত ডিজাইন চেম্বারে দূষণ প্রবেশ থেকে রক্ষা করে। উপাদান এবং কোটিং কৌশল আউটগ্যাসিং কম রাখে এবং হাজার হাজার ঘণ্টা ধরে রিফ্লেক্ট্যান্স স্থিতিশীল রাখে, ফলে ল্যাম্প আউটপুট ড্রিফট হয় না এবং তাপমাত্রার পুনরাবৃত্তি দৃঢ় থাকে।
লাইনে এর অর্থ হলো: আপনি পাবেন আরও ঘনিষ্ঠ ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ, কম রিওয়ার্ক, এবং বেক প্রোফাইল যা প্রতিটি শিফটে সঙ্গতিপূর্ণ থাকে। আপনি আত্মবিশ্বাসে কাজ করতে পারবেন কারণ সিস্টেম ২৪/৭ কাজ করে এবং অপ্রত্যাশিত ডাউনটাইম কমায়।
তদুপরি, রিফ্লেক্টরটি ফটোরেজিস্টে IR কুপলিং সর্বোচ্চ করে, ফলে মডিউলের উপর তাপমাত্রার চাপ কমে এবং অপারেটিং খরচ নিয়ন্ত্রণে থাকে—তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা হারানো ছাড়াই।
কয়েকটি ব্যবহারিক নোট: রিফ্লেক্টরকে ল্যাম্প অক্ষের সাথে কঠোর সহনশীলতার মধ্যে সঠিকভাবে অ্যালাইন করতে হবে; যদি তা না হয়, তাহলে হট জোন সরে যাবে এবং সমতা নষ্ট হবে। ইনস্টলেশনের পর একটি সংক্ষিপ্ত র্যাম্প-আপ সময় থাকবে তাপমাত্রার সামঞ্জস্য পৌঁছাতে, এবং পারফরম্যান্স বজায় রাখতে রিফ্লেক্ট্যান্স এবং পরিচ্ছন্নতার নিয়মিত পরীক্ষা পরিকল্পনা করতে হবে।
যখন এটি সঠিকভাবে নির্দিষ্ট ও ইনস্টল করা হয়, তখন বেকিং হয় ওয়াফারে, হার্ডওয়্যারের উপর নয়।