শুকানোর সময় আপনার MEMS ওয়েফারগুলোকে নির্মল অবস্থায় রাখা কীভাবে?
যদি আপনি ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমে কাজ করেন, তাহলে আপনি এই সমস্যাটি জানেন। হিটার থেকে আসা ছোট্ট একটি ধূলিকণাও আপনার সমস্ত ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। এটা খুবই হতাশাজনক। এজন্যই আমরা উচ্চ-বিশুদ্ধতার সিনথেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি।
বেশিরভাগ হিটিং এলিমেন্টগুলো সময়ের সাথে সাথে ক্ষয়প্রাপ্ত হয়ে যায়। কিন্তু কোয়ার্টজ টিউবগুলো এমনটা করে না। এগুলো ওয়েফারগুলোকে দ্রুত শুকানোর জন্য প্রয়োজনীয় তাপ সরবরাহ করে; কিন্তু কোনো ধরনের ধাতব অপদ্রব্য থেকে যায় না।
কোয়ার্টজ কেন কার্যকর?
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড ব্যবহার করি। কারণ এটা লং-ওয়েভ তাপের তুলনায় ওয়েফারের পৃষ্ঠের আর্দ্রতাকে দ্রুত দূর করতে পারে।
কোয়ার্টজ খুবই বিশুদ্ধ হওয়ায়, আপনাকে MEMS সেন্সরগুলোতে আয়ন প্রবেশ করার ব্যাপারে চিন্তা করতে হয় না। আর কোয়ার্টজ টিউবগুলো একটি নির্দিষ্ট বায়ুচাপ সরবরাহ করে, যার ফলে টাঙ্গস্টেন ফিলামেন্টগুলো ক্লিনরুমের বায়ু থেকে সুরক্ষিত থাকে। আমরা সস্তা কাঁচ ব্যবহার করি না; কারণ এটা উচ্চ তাপমাত্রার চাপ সহ্য করতে পারে না।
ছোট জায়গায়ও কার্যকর তাপ সরবরাহ
এই ল্যাম্পগুলো প্রতি ইঞ্চিতে প্রচুর ওয়াট তাপ সরবরাহ করে। এর ফলে আপনি ছোট আকারের হিটার ব্যবহার করলেও তরলগুলোকে দ্রুত শুকানো যায়। এগুলো আপনার বিদ্যমান PID কন্ট্রোলারগুলোর সাথেও ভালোভাবে কাজ করে; ফলে তাপমাত্রা ঠিক আপনার ইচ্ছামতো থাকে।
একটি গুরুত্বপূর্ণ বিষয়…
যেহেতু তাপ ঘনত্ব খুব বেশি, তাই ল্যাম্পের পৃষ্ঠ দ্রুত গরম হয়ে যায়। যদি আপনার হাউজিংটি উচ্চ তাপমাত্রার বায়ুপ্রবাহ সহ্য করতে না পারে, তাহলে আপনার হাউজিংটি ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। সেটাপ করার সময় এটা মনে রাখা জরুরি।
বাস্তব জগতে শুকানো
আমরা এগুলোকে অটোমেটেড ওয়েফার হ্যান্ডলিং সিস্টেমের বিকল্প হিসেবে তৈরি করেছি। এগুলো ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠকে সমানভাবে গরম করে; ফলে কোনো “কোল্ড স্পট” থাকে না, আর কোনো ধরনের জলের দাগ বা অপদ্রব্যও থাকে না।
আর সবচেয়ে ভালো ব্যাপার হলো: ওয়েফারের উপর কোনো জোরদার গরম বায়ু প্রবাহিত হয় না। আপনাকে কোনো ধরনের টার্বুলেন্সের সমস্যার মুখোমুখি হতে হয় না। ফলে ওয়েফারটি সম্পূর্ণরূপে শুকনো ও পরিষ্কার থাকে।