En una línea de 300mm, se puede observar cómo el rendimiento se pierde con una deriva de 0.5°C durante el horneado del fotoresistente. El control del ancho de línea se desestabiliza rápidamente. Construimos nuestra lámpara para secado de obleas para eliminar esa variabilidad y para seguir operando cuando la planta funciona 24/7.
Lo que importa, técnicamente
La lámpara mantiene una uniformidad térmica estricta a lo largo del plano de la oblea —±0.1°C—, por lo que los perfiles de horneado suave y horneado duro se mantienen estables, lote tras lote. La rápida respuesta térmica reduce el tiempo de remojo sin alterar el perfil, lo que acorta el ciclo y disminuye el consumo energético. El emisor está certificado para ambientes Clase 1–100, generando cero partículas y sin emisiones que puedan contaminar el fotoresistente. Se espera una vida útil prolongada y salida estable: más de 5,000 horas con menos del 5% de deriva en lúmenes y temperatura, soportando la operación continua 7×24 sin paros no planificados.
Por qué se utiliza en litografía y procesamiento de resist
La repetibilidad es el único indicador válido. La lámpara mantiene la estabilidad del punto de ajuste bajo cargas repetidas, de modo que las dimensiones críticas se mantienen dentro de especificación y se reduce el retrabajo. La uniformidad térmica minimiza defectos en el borde de la oblea, y el rápido asentamiento facilita una calificación más precisa entre productos y máquinas. Esto resulta en menos ajustes de receta, conteos de partículas estables y mantenimientos programables. El consumo energético disminuye porque el sistema alcanza y mantiene la temperatura de forma eficiente, sin sobrepasarla.
Estas son las realidades en campo
La instalación es sencilla, pero la lámpara debe ajustarse al soporte y ruta de retroalimentación térmica adecuados. Si la ubicación del sensor no es correcta, no se logrará la ventaja de ±0.1°C. Antes de reemplazar, verifique la compatibilidad de voltaje y conectores con su módulo de secado y confirme las clasificaciones de los materiales para ambientes con solventes y fotoresistentes. Reemplace según el programa, no por falla.