Mantener las obleas MEMS impecables durante el proceso de secado
Si trabajas en una sala limpia de clase 100, sabes bien cuál es el problema: un simple fragmento de suciedad proveniente del calentador puede arruinar todo tu lote de obleas. Es frustrante. Por eso optamos por lámparas de infrarrojos hechas de cuarzo sintético de alta pureza.
La mayoría de los elementos calefactores con el tiempo comienzan a desprender gases o a agrietarse. Pero estos tubos de cuarzo no presentan ese problema. Emiten un calor intenso que permite secar las obleas rápidamente, sin dejar residuos metálicos.
Por qué el cuarzo funciona tan bien
Elegimos el infrarrojo de onda corta porque permite eliminar la humedad de la superficie de las obleas mucho más rápido que el calor de onda larga. Gracias a la alta pureza del cuarzo, no hay riesgo de que los iones se depositen en los sensores MEMS. Además, el revestimiento de cuarzo actúa como un sello hermético, manteniendo el filamento de tungsteno alejado del aire de la sala limpia. Evitamos usar vidrio barato, ya que no resistiría las altas temperaturas y se rompería al instante.
Alta eficiencia en un espacio reducido
Estas lámparas generan mucha potencia por cada pulgada cuadrada. La ventaja es que puedes reducir el tamaño del calentador, mientras sigues teniendo suficiente calor para evaporar los líquidos instantáneamente. También funcionan bien con los controladores PID existentes, lo que permite mantener la temperatura exactamente donde deseas.
Un consejo importante
Dado que la densidad de calor es muy alta, la superficie de la lámpara se calienta rápidamente. Si la carcasa no está diseñada para soportar altas temperaturas, podrías dañar el chasis o activar constantemente los sensores de sobrecalentamiento. Esto es algo que debes tener en cuenta durante la instalación.
Secado en condiciones reales
Hemos diseñado estas lámparas para ser un reemplazo perfecto para los sistemas automáticos de manejo de obleas. Calientan toda la superficie de la oblea de manera uniforme, lo que evita la formación de “puntos fríos” y residuos indeseados.
Y lo mejor de todo: no hay aire caliente que sople sobre la oblea. No tienes que lidiar con la turbulencia que suele levantar partículas desde los bordes de la oblea. Simplemente obtienes una superficie seca y una oblea realmente limpia.