چرا از فرهای حرارتی معمولی به سمت لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا روی میآییم؟
برای مدت طولانی، کارخانههای تولید تراشهها از فرهای حرارتی معمولی استفاده میکردهاند. اما راستش، این فرها کمی قدیمی شدهاند. امروزه، روند استفاده از لامپهای مادون قرمز با خلوص بسیار بالا در حال افزایش است. این موضوع فقط مربوط به دستیابی به اهداف مربوط به استفاده از انرژی سبز یا رعایت مقررات مربوط به عدم استفاده از سرب نیست؛ بلکه مسئلهای مربوط به منطق سادهای است.
فکر کنید: سیستمهای حرارتی معمولی سعی میکنند کل اتاق را گرم کنند تا ویفر خشک شود. این کار بیش از حد است. لامپهای UHP متفاوت هستند؛ آنها انرژی را مستقیماً به سطح مورد نظر ارسال میکنند، بدون نیاز به واسطههایی.
فیزیک این پدیده واقعاً ساده است.
وقتی از دستگاههای خشککننده معمولی استفاده میکنیم، انرژی زیادی صرف گرم کردن دیوارههای داخلی دستگاه میشود. این کار مانند گرم کردن خانه با گرم کردن جادههای اطراف آن است.
اما با لامپهای UHP، ما فقط به نواحی خاصی از سطح مورد نظر انرژی ارسال میکنیم. کافی است کلید را فشار دهیم و کار انجام خواهد شد؛ نیازی به انتظار برای گرم شدن دستگاه نیست. این روش باعث کاهش مصرف انرژی برای هر ویفر میشود، که این موضوع برای کسانی که در زمینه مالی فعالیت میکنند، بسیار مفید است.
حفظ تمیزی سطح:
در اتاقهای تمیز، «خارج شدن گازها» مشکلی بزرگ است؛ حتی یک ذره کوچک در جای نامناسب میتواند مشکلاتی ایجاد کند.
به همین دلیل، ما از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا و فیلامنتهای ویژه برای ساخت این لامپها استفاده میکنیم. ما مطمئن میشویم که هیچ چیزی از سطح خارج نشود. وقتی صحبت از «عدم استفاده از سرب» میکنیم، منظورمان فقط سرب موجود در لحیمکاریها نیست؛ بلکه کل فرآیند تولید را در نظر میگیریم. با استفاده از لامپهای مادون قرمز، نیازی به استفاده از مواد خشککننده پرانرژی یا جریان هوایی که میتواند آلایندهها را با خود ببرد، نیست. در نتیجه، سطحی تمیز و خشک به دست میآید.
مشکلات موجود:
مشکل اینجاست که این لامپها انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند. این موضوع برای تولید تعداد بیشتری ویفر خوب است، اما فشار زیادی بر سیستمهای خنککننده وارد میشود.
اگر از لامپهای UHP با توان بالا استفاده کنید اما فراموش کنید سیستمهای خنککننده خود را بهروز کنید، مشکلات زیادی پیش خواهد آمد. احتمالاً لبههای ویفر داغ خواهد شد و این موضوع باعث تغییر شکل ویفر خواهد شد. بنابراین باید تعادل مناسبی بین توان لامپ و جرم ترمیکی سطح مورد نظر برقرار کنیم.
خبر خوب این است که: ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند به راحتی در سیستمهای خلا یا سیستمهای هوایی موجود نصب شوند. به این ترتیب، میتوانید آن فنها و دستگاههای گرمایشی پرمصرف را حذف کنید و فشار کربنی ناشی از آنها نیز کاهش یابد.