Curation de la polyimide pour la fabrication de wafers
Dans le domaine de la lithographie, la durcissement du polyimide n’est pas simplement une étape de chauffage supplémentaire. C’est le contrôle de la...
Lampe infrarouge pour cuisson de polyimide
Sur le sol en lithográphie, c’est durant l’étape de cuisson du polyimide que le budget thermique se transforme en contrôle de la largeur des lignes...