בתהליך הליתוגרפיה, האפשרות לשחזר את תנאי החימום של החומר הפוטורזיסטיבי אינה דבר שניתן להתעלם ממנו – זו חלק בלתי נפרד מהתהליך עצמו. שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום עלול לפגוע בשליטה בממדים החשובים של הוופר, ואילו קיומו של חלקיק אחד יכול להרוס את כל המוצרים. לכן יוצרנו נורות אינפרא-אדום ללא אוזון, כדי להסיר את המשתנים האלו מהמשוואה.
מה חשוב מבחינה טכנית? נורות אלו פועלות באמצעות אור אינפרא-אדום, ללא אוזון. כך ניתן לוותר על הממיר הקטליטי ועל הבעיות הקשורות בתחזוקתו. בכל שטח התאורה, האחידות התרמית של הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והאפשרות לשחזור את התנאים בין ייצורים שונים נשמרת בטווח של ±0.2°C.
המערכת מיועדת לחדרי ייצור מסוג Class 1–100: חומרים עם פליטת גזים נמוכה, מסלולי אור סגורים, ומערכת אוורור שמונעת את חדירת החלקיקים לוופר. היציבות של המערכת היא פחות מ-1% לאורך 5,000 שעות ויותר – כלומר היא יכולה לעמוד בלוחות זמנים של 24/7 בלי צורך בכיול תמידי.
למה המערכת עובדת טוב בייצור? תהליך העיבוד של החומר הפוטורזיסטיבי תלוי בתנאים התרמיים. נורות האינפרא-אדום שלנו מחממות את הוופר במהירות, ובאמצעות שליטה דיוקמת, הן שומרות על יציבות תרמית בין ייצורים שונים. כך ניתן להשיג אחידות גבוהה יותר בממדים של הוופר, פחות צורך בעיבוד חוזר, וניתן לתכנן את הייצור בצורה טובה יותר.
מכיוון שהנורות מגיעות לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומרות עליה, צריכת האנרגיה יורדת. כמו כן, זמן השימוש הארוך מפחית את הצורך בחלפים ובעבודת תחזוקה. בטכנולוגיות מתקדמות, השילוב של אוזון אפסי, ייצור מינימלי של חלקיקים, ושליטה מדויקת בטמפרטורה, מגנים על הוופר – וגם על סביבת המכשירים.
מה צריך לקחת בחשבון? נורות אלו יכולות להתחבר לפריטי ציוד סמיקונדוקטור סטנדרטיים, אך חשוב להתחשב בעומס התרמי של המכשיר. יש להתחשב ביכולת הפיזור של החום של המכשיר ובמסלולי האוורור – אם העיצוב של מערכת הקירור אינו נכון, היציבות לטווח ארוך תיפגע.
יש לבצע בדיקה קצרה כדי לוודא שהנורות פועלות כראוי. לאחר שההתאמה מושלמת, התהליך יהיה צפוי ויציב.