במחלקת הליתוגרפיה, אתם יודעים איך זה עובד – שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לכך שהשליטה בממדים הקריטיים של הוופר תאבד את היעילות שלה. ברגע כזה, צריך לזרוק את הוופרים.
אנו יצרנו מכשיר למדידת מתח הפנים של הוופר, כדי למנוע שינויים כאלה מלכתחילה. המכשיר נועד לאותו רגע בדיוק בו יש צורך שהכימיה של הפוטורזיסט, הטמפרטורה ואנרגיית הפנים של הוופר יהיו בהרמוניה אחת.
העקרון הבסיסי של המכשיר הוא שהוא שומר על אחידות טמפרטורית של ±0.1°C על פני כל שטח הוופר. רמת היציבות של הטמפרטורה נשארת קבועה, גם כשהמכשיר פועל 24/7.
המכשיר קומפקטי מספיק כדי להתאים לתחנות מדידה בליניה. העיצוב שלו מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והחומרים שמרכיבים אותו מונעים היווצרות של חלקיקים. אין צורך בשימוש בחומרים מיוחדים – המכשיר מעוצב כך שלא יהיו חלקיקים שנוצרים.
ניתן לראות את האחידות בנתוני המדידה – כל תהליך אפייה נרשם ברמת דיוק גבוהה, כך שאותו פרופיל טמפרטורי נשמר מתהליך אחד לאחר.
מה זה אומר בפועל? תהליכי האפייה נהיים יותר קבועים, ויש פחות צורך בתיקונים. כמו כן, יש פחות וופרים שצריך לזרוק בגלל בעיות בתהליך האפייה.
שימוש באנרגיה יורד, מכיוון שהמכשיר מגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומר עליה. גם זמני העצירה הבלתי צפויים פוחתים, מכיוון שהיציבות התרמית מונעת צורך בפיקוח מתמיד על התהליך.
עוד דבר חשוב: המכשיר עובד בצורה הטובה ביותר כאשר המכשירים שנמצאים בתוך החדר ממוקמים במרחק של 0.1 ממ אחד מהשני, וכאשר זרימת המים מתאימה לקצב העבודה. יש צורך בתהליך התאמה קצר כדי שהפרופיל התרמי יהיה יציב.
לאחר מכן, התהליך נשאר בשליטה.