लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने संबंधी प्रक्रियाओं में दोहराव संभव होना आवश्यक है… यह तो प्रक्रिया का ही हिस्सा है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 2°C का अंतर भी उत्पादन प्रक्रिया में गड़बड़ी पैदा कर सकता है; एक ही कण भी पूरे उत्पादन सेट को नष्ट कर सकता है। हमने ऐसी इन्फ्रारेड लैंपें विकसित कीं, जिनमें ओज़ोन न हो… ताकि ऐसी समस्याओं से छुटकारा पाया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
ये लैंप नियर-इन्फ्रारेड तरंगदैर्घ्य पर काम करते हैं, एवं इनमें ओज़ोन नहीं होता… इसलिए कैटालिटिक कन्वर्टर एवं उससे जुड़ी देखभाल संबंधी समस्याओं से छुटकारा मिल जाता है। प्रकाशित क्षेत्र में वेफर की सतह पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर। प्रक्रिया के दौरान दोहराव भी ±0.2°C के भीतर ही रहता है।
यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए ही डिज़ाइन किया गया है… कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, सील्ड ऑप्टिकल पथ, एवं ऐसी हवा की व्यवस्था जिससे कण वेफर तक न पहुँच सकें। 5,000+ घंटों तक आउटपुट स्थिर रहता है… अर्थात् इसे 24/7 चलाने हेतु लगातार कैलिब्रेशन की आवश्यकता नहीं है।
उत्पादन में इसकी उपयोगिता क्यों है?
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण प्रक्रिया में तापमान बहुत ही महत्वपूर्ण है। हमारी इन्फ्रारेड लैंपें वेफर को तेज़ी से गर्म करती हैं… एवं ऐसे कड़े नियंत्रण व्यवस्था के कारण हर बार तापमान स्थिर रहता है। इससे वेफर पर तापमान संबंधी समस्याएँ कम हो जाती हैं… एवं उत्पादन दर भी बेहतर रहती है।
चूँकि लैंप तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, इसलिए ऊर्जा खपत कम हो जाती है। लंबे समय तक काम करने की क्षमता के कारण स्पेयर पार्ट्स एवं रखरखाव संबंधी लागत भी कम हो जाती है। उन्नत उत्पादन प्रक्रियाओं में, ओज़ोन की अनुपस्थिति, कम कण उत्पन्न होना, एवं सटीक तापमान नियंत्रण के कारण वेफर एवं उपकरणों की सुरक्षा होती है।
क्या योजना बनाने की आवश्यकता है?
ये लैंप मानक सेमीकंडक्टर उपकरणों के इंटरफेसों के साथ काम करते हैं… लेकिन तापमान नियंत्रण व्यवस्था बहुत ही महत्वपूर्ण है। इंस्टॉलेशन के दौरान उपकरणों के ताप निकासी एवं हवा के प्रवाह का ध्यान रखना आवश्यक है… अन्यथा दीर्घकालिक स्थिरता प्रभावित हो जाएगी।
उपकरणों के तापमान नियंत्रण की जाँच हेतु थोड़ा परीक्षण करें… एक बार यह व्यवस्था सही हो जाने के बाद, प्रक्रिया अधिक स्थिर रहेगी।