कटिंग साइकल का समय: वैक्यूम में IR हीतरों का लाभ
यदि आप सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में काम कर रहे हैं, तो आपको पता ही होगा कि सबसे बड़ी समस्या “समय” है।
ज्यादातर लोग हॉट एयर सिस्टम का उपयोग करते हैं। यह तो काम करता है, लेकिन धीमा है। वास्तव में, ऐसे सिस्टमों में हवा को गर्म किया जाता है, और फिर उम्मीद की जाती है कि वह हवा वेफर को गर्म कर देगी। लेकिन समस्या यह है कि वैक्यूम में तो कोई हवा ही नहीं होती… इसलिए ऐसे सिस्टम व्यर्थ ही हैं।
यहीं पर वैक्यूम-अनुकूल इन्फ्रारेड (IR) हीतरों की आवश्यकता होती है। IR हीतर, ऊर्जा को सीधे ही सब्सट्रेट पर भेजते हैं… यह तो बहुत ही तेज़ तरीका है।
ओवन के गर्म होने का इंतज़ार बंद करें!
हॉट एयर सिस्टमों में “थर्मल इनर्शिया” होती है… यानी वे धीमे ही काम करते हैं। वर्कपीस के गर्म होने से पहले ही चेंबर की दीवारों एवं हवा को गर्म करना ही पड़ता है… यह तो बहुत ही धीमी प्रक्रिया है।
IR हीतर तो कुछ ही सेकंडों में ही लक्षित तापमान तक पहुँच जाते हैं… चूँकि ऊष्मा सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँचती है, इसलिए आपको किसी भी तरह की देरी का सामना नहीं करना पड़ता… यह तो बहुत ही तेज़ तरीका है।
वैक्यूम सिस्टमों में उपयोग होने वाले हीतरों की खामियाँ
अब, आप कोई भी हीतर वैक्यूम सिस्टम में इस्तेमाल नहीं कर सकते…
सामान्य हीतरों से गैसें निकल सकती हैं… उच्च वैक्यूम वाले वातावरण में, हीतर पर मौजूद थोड़ी सी भी चिकनाई या कार्बनिक सामग्री वेफर को दूषित कर सकती है… यह तो बहुत ही बुरी स्थिति है।
इसे रोकने हेतु, हम क्वार्ट्ज एनवलॉप एवं वैक्यूम-अनुकूल इलेक्ट्रोडों का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से लीकेज एवं गंदगी बाहर ही रहती है।
एक बात ध्यान में रखें: पावर डेनसिटी… उच्च-वॉटेज वाले IR हीतरों में बहुत ही अधिक ऊष्मा होती है… यदि चेंबर का कूलिंग सिस्टम पर्याप्त न हो, तो वेफर पर न पड़ने वाली ऊष्मा सीलों को नष्ट कर सकती है… इसलिए स्विच चालू करने से पहले जरूर विनिर्देशों की जाँच करें।
अधिक वेफरों का उत्पादन
यहाँ सबसे बड़ा लाभ तो नियंत्रण ही है…
IR हीतरों के उपयोग से आप तेज़ी से ऊष्मा प्रदान कर सकते हैं, प्रक्रिया पूरी कर सकते हैं… आपको बड़े ओवनों के ठंडे होने का इंतज़ार नहीं करना पड़ता।
इंजीनियरों के लिए यह बहुत ही फायदेमंद है… ऐसे में एक घंटे में अधिक वेफर तैयार हो जाते हैं… आपको अब धीमी गति से काम करने की आवश्यकता ही नहीं है… आप एक साधारण एयर ब्लोअर के बजाय एक सटीक पावर कंट्रोलर एवं वैक्यूम-सील्ड हीतर का उपयोग कर सकते हैं… ऐसा करने से आपकी उत्पादन क्षमता बढ़ जाती है।