Di fasilitas litografi, Anda tentu tahu betul betapa pentingnya kontrol suhu selama proses pemanasan wafer. Jika ada perubahan suhu sebesar setengah derajat saja, maka kontrol dimensi kritis wafer akan menjadi tidak akurat. Akibatnya, wafer tersebut harus dibuang.
Kami menciptakan alat pengukur tegangan permukaan wafer ini untuk mencegah terjadinya perubahan suhu tersebut sejak awal. Alat ini digunakan pada saat kimia yang digunakan dalam proses fotorezist, kondisi termal, dan energi permukaan wafer harus berada dalam kondisi yang ideal selama proses pemanasan.
Inti dari alat ini adalah kemampuannya untuk menjaga keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer hingga ±0,1°C. Setting suhu tetap stabil, bahkan ketika alat ini digunakan 24/7.
Alat ini cukup kompak sehingga dapat dipasang di stasiun pengukuran yang ada di jalur produksi. Desainnya cocok untuk ruang bersih kelas 1–100, dan bahan-bahan yang digunakan memiliki emisi partikel yang sangat rendah. Tidak adanya partikel sama sekali bukanlah klaim pemasaran semata; hal ini merupakan hasil dari desain alat yang baik, dengan sistem termal yang tertutup sehingga memastikan tidak ada partikel yang terlepas.
Anda juga dapat melihat tingkat repetibilitas proses pengukuran tersebut dari catatan data yang dihasilkan. Setiap proses pemanasan dicatat dengan toleransi yang dapat diandalkan, sehingga profil suhu yang dihasilkan tetap konsisten dari satu kali pengukuran ke pengukuran berikutnya.
Lalu, apa artinya hal ini bagi proses produksi? Proses pemanasan menjadi lebih mudah dikendalikan, sehingga tingkat keseragaman dimensi wafer pun meningkat. Jumlah wafer yang perlu diperbaiki berkurang, begitu pula jumlah wafer yang rusak akibat proses pemanasan yang tidak sempurna.
Penggunaan energi juga berkurang, karena alat ini dapat mencapai suhu yang ditentukan dengan cepat dan mempertahankannya tanpa melampaui batas yang ditetapkan. Downtime yang tidak terduga juga berkurang, karena stabilitas termal memungkinkan proses produksi berjalan lancar tanpa gangguan.
Satu hal yang perlu diperhatikan saat memasang alat ini: alat ini akan berfungsi secara optimal jika posisi komponen di dalam ruang pemanasan tetap stabil, yaitu dalam rentang 0,1 mm, dan aliran pendinginnya sesuai dengan kebutuhan proses produksi. Butuh waktu singkat untuk menyetel profil termal yang tepat untuk alat ini.
Setelah itu, proses produksi akan tetap berjalan secara terkendali.