Smettete di permettere che i vostri elementi riscaldanti rovinino le vostre wafer.
Se gestite una sala pulita di classe 100, sicuramente conoscete bene questo problema. Un piccolissimo frammento di materiale – qualcosa che non si può nemmeno vedere – può finire sulla wafer, e all’improvviso l’intera serie di prodotti diventa inutilizzabile. È frustrante, costoso… E di solito il problema deriva dall’emissione di gas o dalla perdita di particelle dagli elementi riscaldanti.
Abbiamo deciso di risolvere questo problema utilizzando quarzo sintetico ad alta purezza per le nostre lampade a infrarossi.
Perché il quarzo è fondamentale
Il fatto è che il vetro standard o il quarzo di bassa qualità non riescono a resistere al calore presente in un ambiente semiconduttore. Quando le temperature aumentano, queste impurità si decompongono. Si nota subito che la lampada “fuma” o inizia a emettere particelle, proprio quando si aumenta la potenza di riscaldamento.
Il nostro quarzo fuso è diverso: manteniamo le impurità metalliche a livelli estremamente bassi, così che la lampada rimanga pulita. Inoltre, è chimicamente inerte: non reagisce ai gas utilizzati nei processi di produzione.
Riscaldare esattamente dove serve
È necessario riscaldare rapidamente la wafer. Ma non si vuole riscaldare anche l’aria intorno ad essa.
Le nostre lampade utilizzano radiazioni a onde corte; queste raggiungono direttamente la superficie della wafer. Questo è importante, perché riduce le correnti convettive che sollevano polvere e particelle verso il prodotto.
È possibile personalizzare queste lampade in base alla potenza e alla tensione desiderate. Se si sceglie una maggiore densità di potenza, si risparmia molto spazio nella camera di lavoro. Tuttavia, bisogna fare attenzione: un’eccessiva potenza può causare un eccessivo riscaldamento. Assicuratevi che i sistemi di raffreddamento siano adeguati, altrimenti i connettori potrebbero essere danneggiati.
Sostituzioni semplici, meno stress
A nessuno piace passare ore a effettuare manutenzioni. Offriamo diverse opzioni per le coperture delle lampade, in modo da garantire una chiusura ermetica, fondamentale per evitare perdite di vuoto nella camera di lavoro.
Quando una lampada si rompe, basta semplicemente sostituirla con una nuova. Non è necessario riprogrammare l’intero sistema o dedicare tutto il giorno alla pulizia dell’area. È un processo veloce e semplice, che permette di tornare subito al lavoro, senza il rischio di introdurre nuovi contaminanti durante la sostituzione.