ほこりがあなたの真空加熱装置を台無しにするのを防ごう
クラス100のクリーンルームや高真空チャンバーで対象物を加熱している場合、その悩みはよくわかるでしょう。単に熱だけでは不十分で、その熱が「清潔」でなければならないのです。
一般的な加熱要素は、このような環境では問題を引き起こします。それらはガスを放出したり、微細な粒子を飛散させてしまい、それらがウェーハや光学コーティングに付着してしまいます。本当に困ったものです。ほんの少しのほこりでも、全体の製品が台無しになってしまいます。
だからこそ、私たちは赤外線ランプに高純度の合成石英を使用しているのです。
ガス放出の問題
私たちは、不純物含有量が極めて低い融結石英を使用しています。なぜかというと、低品質のガラスは「燃焼効果」を持っているからです。安価なランプを使ったことがある人なら、最初の数時間間だけ揮発性有機化合物や金属酸化物が漏れ出すことがあることを知っているでしょう。
しかし、私たちの石英はそういうことはありません。真空状態を保ち続けます。また、急激な温度変化にも耐えられ、圧力によって壊れることもありません。
真空環境への対応
真空環境では、対流による冷却が機能しないのです。すべてが放射によって行われます。
私たちは、必要な場所、つまり対象物の上に高いパワー密度を集めるように設計しました。これにより、周囲のチャンバー壁が熱を吸収することがありません。ただし、水冷ジャケットがランプの出力に耐えられるかどうかを確認してください。もし耐えられなければ、真空シールが破損してしまいます。それは避けたいですよね。
クリーンルーム向けに設計されている
私たちは不要なものを一切排除しました。接着剤も、多孔質のコーティングもありません。時間が経つにつれて剥がれ落ちるようなものも一切ありません。ランプの形状もシンプルで、スペースを取らず、掃除も簡単です。また、特殊なコネクタを使用して、外部の空気がチャンバー内に入るのを防ぎます。
最後に、古い装置にこのランプを取り替える際のアドバイスです：電源を確認してください。
高出力の石英ランプは、起動した瞬間に大量の電流を消費します。配線がそのピーク負荷に耐えられるかどうかを確認してください。もし耐えられなければ、電圧低下が起こり、加熱が不均一になってしまいます。理想的ではありません。