수소 센서를 제작할 때는 매우 위험한 상황에 처하게 됩니다. 단 한 알의 먼지만 있어도 전체 제품군이 망가질 수 있습니다. 그렇기 때문에 클래스 100 청정실에서는 일반적인 히터를 사용하는 것은 불가능합니다. 대부분의 히터들은 가열되자마자 입자를 방출하거나 기체가 새어 나옵니다. 이는 감당할 수 없는 위험입니다.
우리는 고순도의 석영 적외선 램프를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 석영 램프의 외피로는 합성 융합 규소가 사용됩니다. 이 재료는 가열되어도 거의 움직이지 않습니다. 금이 가거나 부스러지지도 않으며, 순수한 석영이기 때문에 고온에서 증기로 변할 수 있는 이물질이나 결합제가 전혀 없습니다.
열은 단파 적외선 형태로 전달됩니다. 이 열은 직접적으로 기판에 작용하기 때문에 주변 공기를 가열하는 데 시간이 낭비되지 않습니다. 그래서 바닥에 있던 먼지가 날아오르는 현상도 없습니다.
“버닝인” 문제에 대해서도 말해보겠습니다. 아마도 여러분도 일반적인 할로겐 램프를 본 적이 있을 것입니다. 이런 램프들은 저가의 접착제나 실링재를 사용하는데, 처음 켜면 연기가 나거나 VOC가 발생합니다. 우리는 그렇게 하지 않습니다. 우리는 특수한 밀폐형 실링재와 고품질의 전극을 사용하며, 모든 유기물 코팅을 제거합니다.
그 결과? 치유나 증착 과정 중에도 램프가 깨끗하고 조용하게 작동합니다. 가스가 발생하지도 않고, 예상치 못한 문제도 없습니다.
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 이 램프들은 엄청나게 강력합니다. 목표 온도에 도달하는 데 몇 초밖에 걸리지 않습니다. 하지만 너무 강력하기 때문에 설치할 때 주의해야 합니다. 석영을 너무 세게 고정하면 열應力으로 인해 램프가 부서질 수 있습니다.
제 조언은? 램프에 충분한 공간을 주는 것입니다. 그래야 램프가 안전하게 작동할 수 있습니다.
이런 램프들을 생산 라인에 도입하는 것은 매우 간단합니다. 필요한 와트수와 길이를 알려주면 됩니다. 그렇게 하면 센서 웨이퍼 전체에 고른 열이 분포됩니다.
공명점도 없고, 오염도 없습니다. 오직 깨끗한 열만 있을 뿐입니다.