화학물질이 폭발하는 것을 막는 방법
반도체 세척 라인을 운영하고 있다면 잘 알고 있겠지만, 여기서는 가연성 용매와 증기가 사용됩니다. 이러한 물질들은 금방 불이 붙을 수 있습니다. 일반적인 IR 램프를 그런 환경에 사용한다면 큰 문제가 생길 수밖에 없습니다.
그래서 우리는 열을 발생시키는 부분을 밀폐된 구조로 만들었습니다.
밀폐 구조의 작동 원리
이건 마치 보호용 버블과 같습니다. IR 발광원을 고순도 석영 소재 안에 넣은 다음, 화학물질이 닿아도 흔들리지 않는 유리-금속 조인트로 그것을 단단히 밀봉합니다.
일반 램프의 경우, 램프가 파손되면 뜨거워진 필라멘트가 화학물질과 접촉하여 스파크가 발생할 수 있습니다. 하지만 우리의 밀폐형 램프는 그런 일을 막아줍니다. 또한, 램프 내부에는 불활성 기체가 들어 있어서 필라멘트가 너무 빨리 타버리는 것을 방지합니다.
적절한 재료 선택
우리는 아무런 유리나 사용하지 않습니다. 외부 케이스는 일반적으로 플루오린 계열의 코팅이나 강화된 유리로 만들어집니다. 왜냐하면 부식성이 강한 세척제들이 석영을 파괴할 수 있기 때문입니다. 또한, 연결 부분도 튼튼하게 만들어져서 반복적인 가열과 냉각 과정에서도 연결선이 손상되지 않습니다.
우리가 특별히 신경 쓰는 것은 열팽창입니다. 케이스와 석영의 팽창 속도가 다르면 밀폐 구조가 깨질 수 있습니다. 이는 간단한 물리적 문제이지만, 제대로 처리하지 않으면 전체 시스템이 작동하지 않게 됩니다. 우리는 재료를 완벽하게 맞춰서 진공 상태를 유지합니다.
알아야 할 단점들
반도체 작업에 필요한 안정성을 얻을 수 있고, 공장이 폭발하지 않을 것이라는 안심도 얻을 수 있습니다. 하지만 이건 마법이 아닙니다. 약간의 단점이 있습니다.
추가적인 보호층 때문에 약간의 열이 손실됩니다. 따라서 목표 온도를 맞추기 위해 와트수를 높이거나 램프를 작업물에 좀 더 가까이 배치해야 할 수도 있습니다.
또한, 제어 시스템에도 약간의 지연이 있을 수 있습니다. 즉시 반응하는 것은 아니지만, 설정을 조정하면 문제가 되지 않습니다.