MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

건조 과정에서 MEMS 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 청정실에서 작업할 때면, 히터에서 나오는 아주 작은 이물질만으로도 전체 웨이퍼가 버려지는 상황이 발생합니다. 정말 답답한 일이죠. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다. 대부분...