Out on the fab floor, anda belajar untuk mengendalikan peralihan suhu dalam proses photoresist seperti musuh lama. Soft bake pada 90°C dengan ±3°C di seluruh wafer? Sebaran sebegini mengubah bias dimensi kritikal dan meninggalkan bead tepi yang akan kembali mengganggu anda kemudian sebagai kerja semula. Oleh itu kami membina sistem infrared industri khas untuk fab bagi menghapuskan ketidaktentuan itu—menyampaikan haba yang boleh diulang tepat di mana proses memerlukannya, tanpa pergerakan udara dan tanpa menambah partikel.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Kami mengendalikan pemancar infrared gelombang pendek dengan respons pantas terus ke wafer, jadi kami boleh menaikkan suhu dengan cepat dan mengekalkan kelajuan dengan kawalan sebenar. Keseragaman terma di seluruh chuck kekal dalam ±0.1°C, dan kebolehulangan suhu dari batch ke batch lebih baik daripada ±0.5°C.
Modul ini serasi dengan bilik bersih sehingga Kelas 1–100, disebabkan oleh reka bentuk terma bertutup dan bahan yang rendah pengeluaran gas. Penghasilan partikel kekal sifar semasa proses bake. Metrologi terintegrasi memberi isyarat kepada pengawal gelung tertutup yang mengekalkan setpoint, walaupun voltan bekalan berubah dan keadaan persekitaran berubah-ubah.
Hasilnya ialah bajet terma yang boleh dipercayai—profil soft bake dan hard bake yang konsisten, hari demi hari.
Mengapa ia berfungsi di tempat yang penting
Litografi dan pengerasan resist bergantung sepenuhnya kepada kestabilan terma. Sistem ini mengunci langkah bake, jadi kawalan lebar garis menjadi lebih ketat dan pengurangan bead tepi menjadi lebih terduga. Anda mengurangkan hasil buangan, kerja semula, dan menghentikan pengejaran anomali yang mengurangkan hasil.
Penggunaan tenaga juga menurun, kerana pemancar memanaskan sasaran—bukan seluruh bahagian. Masa operasi kekal stabil dengan reka bentuk yang berjalan 24/7, dan pakej pemancar adalah modular sehingga boleh ditukar dalam beberapa minit.
Berikut perkara yang perlu dibuat dengan betul
Modul boleh diintegrasi ke dalam trek baru atau yang sedia ada, tetapi rancang tapak dan antara muka dari awal. Komisioning cepat jika anda sudah bersedia untuk selaraskan suhu resipi, sorotan sensor, dan kelajuan konveyor.
Pemancar adalah berintensiti tinggi, jadi pengasingan terma stesen bersebelahan adalah wajib. Dan jika anda ingin logik perlindungan tidak berbunyi, penstabil kuasa bilik bersih adalah keperluan—gangguan akan mencetuskannya jika tidak.
Sediakan dengan betul dan lini berjalan tanpa gangguan tidak dirancang. Dan tetingkap proses anda terbuka luas.