Di bilik litografi, kita tahu betapa pentingnya kawalan suhu semasa proses pembakaran wafer. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah sahaja sudah cukup untuk merosakkan kawalan dimensi kritikal wafer tersebut. Akibatnya, wafer tersebut akan terpaksa dibuang.
Kami mencipta alat pengukur tegangan permukaan wafer ini untuk mengelakkan perubahan suhu tersebut sebelum ia berlaku. Alat ini digunakan pada saat-saat genting di mana kimia bahan fotorezist, faktor haba, dan tenaga permukaan perlu diselaraskan dalam satu julat suhu yang tetap.
Inti dari alat ini ialah ia memastikan suhu permukaan wafer kekal stabil pada tahap ±0.1°C. Kestabilan suhu ini dapat dikekalkan walaupun alat ini beroperasi 24/7.
Alat ini cukup kompak untuk dipasang di stesen pengukuran dalam talian. Reka bentuknya sesuai untuk digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Bahan-bahan yang digunakan juga tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya. Tiada penghasilan zarah sama sekali bukan sekadar janji pemasaran; ia merupakan ciri reka bentuk alat ini sendiri, kerana adanya sistem haba yang tertutup yang menghalang pelepasan zarah-zarah tersebut.
Anda boleh lihat tahap ketepatan pengukuran tersebut dalam log data. Setiap proses pembakaran direkodkan dengan ketepatan yang tinggi, supaya profil suhu yang sama dapat dicapai setiap kali proses dilakukan.
Apa maknanya ini untuk operasi di bilik litografi? Proses pembakaran menjadi lebih tepat, dan penggunaan tenaga berkurangan kerana alat ini dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat tanpa melebihi hadnya. Downtime yang tidak dijangka juga berkurangan, kerana stabilitas suhu membolehkan proses berjalan tanpa gangguan.
Satu perkara yang perlu diperhatikan ialah alat ini akan berfungsi dengan lebih baik jika alat penyangga di dalam bilik bersih diselaraskan pada jarak 0.1 mm, dan aliran udara penyejuk disesuaikan dengan kadar operasi alat tersebut. Anda perlu melakukan ujian pendek untuk menyesuaikan profil suhu yang sesuai untuk alat ini.
Selepas itu, proses pembakaran akan berjalan dengan lancar tanpa sebarang masalah.