Waarom we convectiemotten vervangen door UHP-infraroodapparaten
Al lang maken halfgeleiderfabrieken gebruik van deze grote convectiemotten. Maar eerlijk gezegd zijn ze behoorlijk verouderd. Er is een enorme trend richting Ultra High Purity (UHP)-infraroodlampen. Het gaat niet alleen om het bereiken van ‘groene’ energiedoelstellingen of het naleven van regels betreffende het gebruik van loodvrije materialen – het gaat ook om gezond verstand.
Stel je voor: bij convectiemotten wordt de hele ruimte verwarmd, alleen maar om de chip droog te krijgen. Dat is zonde van energie. UHP-lampen werken anders: ze sturen energie rechtstreeks naar het substraat, via elektromagnetische straling. Er zijn geen tussenliggende componenten nodig.
De fysica is eigenlijk vrij simpel.
Bij traditionele drogers wordt veel energie verspild aan het opwarmen van de binnenwanden van de machine. Het is net alsof je een huis probeert op te warmen door de oprit te verhitten. Met UHP-lampen richten we ons op de specifieke absorptiebanden van de chemische laag of fotorezyst. Je draait gewoon een schakelaar om en het is klaar. Er is geen wachttijd nodig tot de machine ‘opwarmt’. Hierdoor wordt minder elektriciteit gebruikt per chip, wat iedereen die zich met financiën bezighoudt, blij maakt.
Het houden van alles schoon.
In een schone ruimte is ‘uitgasen’ een groot probleem. Eén klein deeltje op de verkeerde plek kan al tot problemen leiden. Daarom maken we deze lampen van hoogwaardig synthetisch kwarts en speciale filamenten. We zorgen ervoor dat er niets loskomt. En als we het hebben over ‘loodvrij’, bedoelen we niet alleen de lasnaad op het circuitbord. We bedoelen het hele proces. Door infraroodlicht te gebruiken, heb je geen behoefte aan solvents die veel energie verbruiken, of aan luchtstromen die vuilstoffen kunnen meenemen. Je krijgt gewoon een schone, droge oppervlakte. Punt.
Het nadeel (want dat is er altijd wel eentje).
Deze lampen leveren veel energie op in een klein formaat. Dat is goed om meer chips te verwerken, maar het zorgt ook voor veel druk op de koelsystemen. Als je een hoogwaardige UHP-lamp gebruikt, maar vergeet je de koelpomp te upgraden, zie je problemen. De randen van de chip kunnen oververhit raken, waardoor de chip vervormt. Je moet dus een balans vinden tussen de kracht van de lamp en de thermische massa van het substraat.
Het goede nieuws? We ontwerpen deze lampen zodat ze gemakkelijk in bestaande vacuümsystemen of atmosferische systemen kunnen worden geplaatst. Hierdoor hoef je die grote, energieverbruikende ventilatoren en heaters niet meer te gebruiken. Je carbonvoetafdruk wordt daardoor kleiner.