W procesie litografii powtarzalność procesu suszenia fotopolimeru nie jest czymś dodatkowym – to element kluczowy całego procesu. Nawet niewielka odchylenie temperatury o 2°C podczas suszenia może wpłynąć na precyzję kontrolowania wymiarów płytki krzemowej, a jedna tylko cząsteczka może zniszczyć całą partię produktów. Stworzyliśmy lampy podczerwone bez ozonu, aby wyeliminować te problemy.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia
Te lampy pracują w zakresie bliskiej podczerwieni, bez użycia ozonu. Dzięki temu można obyć się bez katalizatora oraz związanych z nim problemów konserwacyjnych. Na obszarze oświetlonym jednolitość temperatury na powierzchni płytki krzemowej wynosi ±0,1°C, a powtarzalność procesu wynosi ±0,2°C.
System ten jest przeznaczony do pracy w pomieszczeniach klasy 1–100: używane są materiały o niskiej emisji gazów, zamknięte ścieżki optyczne, a także takie rozwiązania dotyczące przepływu powietrza, które chronią płytkę krzemową przed cząstkami. Stałość parametrów wynosi mniej niż 1% w ciągu 5 000 godzin pracy – co oznacza, że system może pracować 24/7 bez konieczności ciągłej kalibracji.
Dlaczego system sprawdza się w produkcji
Proces obróbki fotopolimeru zależy od warunków termicznych. Nasze lampy podczerwone szybko i skutecznie nagrzewają płytkę krzemową, przy zachowaniu precyzyjnego kontrolowania temperatury. Dzięki temu uzyskuje się lepszą jednolitość wymiarów płytki, mniej konieczności ponownej obróbki, a także możliwość planowania wydajności produkcji.
Ponieważ lampy szybko osiągają ustalone wartości temperatury i utrzymują je bez przekroczeń, zużycie energii jest niskie. Długie okresy eksploatacji zmniejszają również potrzebę utrzymywania zapasów części zamiennych oraz kosztów konserwacji. W zaawansowanych procesach produkcji połączenie braku ozonu, niskiej ilości cząsteczek oraz precyzyjnego kontrolowania temperatury chroni płytkę krzemową, a także środowisko w którym znajduje się urządzenie.
Na co należy zwrócić uwagę przy planowaniu
Te lampy integrują się z standardowymi interfejsami sprzętu do produkcji półprzewodników, ale ważny jest również sposób rozpraszania ciepła przez urządzenie. Podczas instalacji należy uwzględnić sposób rozpraszania ciepła oraz przepływ powietrza – jeśli projekt chłodzenia nie będzie prawidłowy, stabilność długoterminowa będzie problematyczna.
Należy przeprowadzić krótkie testy, aby potwierdzić, że wartości temperatury odpowiadają wymaganiom procesu. Gdy to zostanie osiągnięte, proces staje się przewidywalny.