W procesie litografii znamy ten problem doskonale: nawet półstopniowa różnica w temperaturze suszenia może doprowadzić do tego, że kontrola wymiarów elementów zostanie utracona. Wtedy trzeba wyrzucać niesprawne płytki.
Stworzyliśmy ten grzałkę do pomiaru napięcia powierzchniowego płytek, aby zapobiec takim odchylkom już na samym początku procesu. Służy ona właśnie w tym momencie, gdy chemiczna struktura fotorezystu, parametry termiczne oraz energia powierzchniowa muszą być idealnie skoordynowane w ramach jednego okna czasowego suszenia.
Serce urządzenia to grzałka, która zapewnia równomierność temperatury na całej powierzchni płytki przy wartości ±0,1°C. Ustawiona temperatura pozostaje stabilna, nawet gdy urządzenie pracuje 24/7.
Urządzenie jest na tyle kompaktowe, że może zostać zamontowane w stacjach pomiarowych. Jego konstrukcja jest przystosowana do warunków środowiska klasy 1–100, a materiały o niskiej emisji cząstek zapewniają stałą liczbę cząstek w powietrzu. Brak wytworzenia cząstek nie jest tylko hasłem reklamowym – to efekt dobrze zaprojektowanego urządzenia, którego uszczelniona struktura zapobiega ich uwalnianiu.
Można zauważyć powtarzalność wyników pomiarów. Każdy proces suszenia jest rejestrowany z precyzją określoną tolerancją, dzięki czemu za każdym razem uzyskuje się ten sam profil temperatury.
Co to oznacza w praktyce? Proces suszenia staje się bardziej przewidywalny, a nie polegający na domysłach. Dzięki temu uzyskuje się lepszą równomierność wymiarów elementów, mniej konieczności ponownej obróbki oraz mniej odpadków spowodowanych niewłaściwym suszeniem lub niepełnym utwardzeniem fotorezystu.
Koszt energii spada, ponieważ grzałka szybko osiąga ustaloną temperaturę i utrzymuje ją bez wykonywania nadmiernych ruchów. Zmniejsza się również czas przestoju, gdyż stabilność termiczna sprawia, że nie trzeba ciągle kontrolować procesu.
Jedna uwaga dotycząca montażu: urządzenie działa najlepiej, gdy elementy komory są ustawione z dokładnością do 0,1 mm, a przepływ chłodziwa jest dostosowany do charakterystyki pracy urządzenia. Oczekuj krótkiego okresu kalibracji, aby ustalić odpowiedni profil termiczny dla twojego urządzenia.
Po tym proces pozostaje pod kontrolą.