Controle do calor nas fábricas de semicondutores com tecnologia IR
Sejamos honestos: os métodos tradicionais de aquecimento já não são suficientes. Se você possui uma fábrica de semicondutores ou eletrônicos moderna, não pode confiar apenas no “achismo”. Você precisa de dados concretos.
É por isso que recorremos aos sistemas de infravermelho (IR). Em vez de tentar aquecer todo o ar dentro da sala limpa – o que é um pesadelo para o sistema de ventilação e um jeito eficaz de gerar poeira e partículas – o IR atua diretamente na fonte de calor. É um aquecimento radiante direto. Simples.
Tornando o sistema “inteligente”
Se você está adotando processos digitizados, precisa que o sistema de aquecimento funcione de maneira eficiente. Nossos sistemas IR são projetados para se comunicar diretamente com os controladores PLC, por meio de fontes de alimentação moduladas.
O que isso significa para você? Significa que você pode ajustar a temperatura em tempo real, com base nas informações fornecidas pelos sensores. Você pode aumentar ou diminuir a temperatura em segundos – não em minutos. Essa velocidade elimina grande parte do tempo necessário para o processo.
A contrapartida (o aspecto que todos esquecem)
Aí está o problema: para obter o nível de calor necessário para o processamento de waferes, é preciso usar emissores de alta potência. Eles são eficazes, mas também geram muito calor concentrado.
Você precisa garantir que seu chassi e seus sistemas de resfriamento sejam capazes de lidar com esse aumento da temperatura ambiente. Se o sistema de resfriamento for insuficiente, as temperaturas vão subir. E, quando isso acontece, você acaba perdendo muito material.
Por que isso funciona bem em salas limpas
Os aquecedores convencionais movem o ar. Em uma sala limpa, mover o ar é um risco que não se pode correr.
O IR mantém tudo estático. Usamos emissores de quartzo e cerâmica, pois eles não liberam gases nem partículas. É uma solução limpa.
Além disso, esses sistemas podem ser conectados diretamente à rede SCADA. Assim, o sistema de aquecimento deixa de ser uma “caixa preta” cujo funcionamento depende apenas da sorte. Ele se torna um ponto de dados.
Se um lote falhar, você não precisa se perguntar por quê. Basta consultar os registros térmicos para saber exatamente onde a temperatura baixou e corrigir o problema. É tão simples assim.