На литографическом столе процесс нагрева полиимида позволяет контролировать толщину линий на пластине. Несколько градусов отклонения приводят к искажению формы боковых стенок линий. Места с чрезмерным нагревом проявляются в повышенном количестве частиц на поверхности пластины. Процесс нагрева должен быть воспроизводимым, точным и быстрым — для каждой партии продукции.
Что имеет значение внутри устройства
Мы разработали это устройство для нагрева полиимида с использованием инфракрасной лампы, чья способность к поглощению света в инфракрасном диапазоне соответствует характерistikам поглощения полиимида. Энергия поступает туда, где она необходима, без избыточного нагрева самого подложка. Это обеспечивает однородность температуры на всей поверхности пластины в пределах ±0,1°C, а также стабильность температуры в течение всего процесса. Лампа разработана для использования в чистых помещениях класса 1–100; материалы и узлы соединения выбраны так, чтобы минимизировать образование частиц. В производстве это приводит к меньшему количеству ошибок, более точному распределению диаметра линий и предсказуемой степени выхода готовой продукции.
Почему это подходит для процесса
Процессы мягкого и жесткого нагрева полиимида находятся прямо в середине тепловой цепи фоторезиста. Наша лампа может заменить существующие устройства для нагрева; она соответствует стандартам SEMI. Вы сохраняете тот же процесс, но получаете более быстрый нагрев, меньшее потребление энергии на одну партию продукции, а также более длительный срок службы лампы — более 5 000 часов стабильной работы, что соответствует международным стандартам. Для инженеров это означает меньше переработок, меньше времени на техническое обслуживание, а также возможность повторения процесса нагрева для каждой партии продукции.
Практические детали
Установка устройства юзером не представляет сложностей, но требуется точное расположение лампы относительно геометрии нагревательной платы для поддержания однородности температуры. Потребуется небольшой промежуток времени на настройку параметров нагрева и проверку распределения температуры. Как только все настроено, можно считать процесс нагрева контролируемым параметром. Тогда тепловая однородность становится чем-то, на что можно рассчитывать, а не чем-то, что нужно постоянно контролировать.