На производстве по технологии литографии ситуация следующая: даже небольшое отклонение температуры при обработке влияет на качество изделий. В результате контроль за размерами деталей становится невозможным, и приходится уничтожать бракованные пластины.
Мы разработали устройство для измерения поверхностного натяжения пластин, чтобы предотвратить такие отклонения ещё до их возникновения. Это устройство помогает поддерживать постоянную температуру на поверхности пластины в диапазоне ±0,1°C. Устройство сохраняет стабильность температуры даже при круглосуточной работе.
Устройство достаточно компактное, чтобы его можно было разместить на станциях для измерений прямо в процессе производства. Его дизайн соответствует требованиям чистых зон класса 1–100. Использование материалов с низким уровнем выбросов позволяет сохранять стабильное количество частиц в воздухе. Отсутствие частиц — это не просто рекламный слоган; это результат тщательной конструкции устройства, включая герметичную систему, которая предотвращает выделение частиц.
Вы можете увидеть стабильность результатов измерений в журнале данных. Каждая процедура обработки записывается с точностью до определенных параметров, так что температурный профиль остается неизменным при каждой процедуре.
Что это значит на практике? Процесс обработки становится более предсказуемым, снижается количество бракованных изделий. Также снижается потребление энергии, так как устройство быстро достигает заданной температуры и сохраняет её без перегрева. Сокращается также время простоя, поскольку стабильность температуры позволяет избежать неоправданных задержек в производстве.
Важно отметить, что устройство работает наилучшим образом, когда фиксация пластины в камере происходит с точностью до 0,1 мм, а поток охлаждающей жидкости соответствует требованиям процесса. Потребуется некоторое время на настройку устройства, чтобы получить стабильный температурный профиль.
После этого процесс будет полностью под контролем.