บนสายการผลิต ปริมาณผลผลิตของแผ่นเวเฟอร์โซลาร์เซลล์ขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิที่เชื่อถือได้ หากอุณหภูมิเคลื่อนที่ไปไม่กี่องศาในระหว่างการอบอ่อน หรือเกิดการแห้งที่ไม่สม่ำเสมอหลังจากการล้าง ผลผลิตก็จะลดลง เราออกแบบฮีตเตอร์สำหรับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนโซลาร์เซลล์เพื่อรักษาขั้นตอนเหล่านั้นให้อยู่ในช่วงที่กำหนด ตลอดกะการทำงาน
สิ่งที่สำคัญภายใต้ระบบ
เราใช้รังสีอินฟราเรดคลื่นสั้นที่ตอบสนองรวดเร็วและมีความสม่ำเสมอสูง รักษาค่าความคลาดเคลื่อน ±0.1°C ตลอดทั้งแผ่นเวเฟอร์ที่อุณหภูมิขั้นตอน กระบวนการ อาร์เรย์ของอีมิทเตอร์และการออกแบบที่ใช้ควอทซ์ถูกสร้างขึ้นสำหรับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคและมีการปล่อยก๊าซน้อย คุณจะได้การเร่งอุณหภูมิที่ทำซ้ำได้ การแช่อุณหภูมิอย่างควบคุม และการทำความเย็นอย่างรวดเร็ว ทำให้การใช้พลังงานความร้อนอยู่ในข้อกำหนดสำหรับการอบอ่อน อบแข็ง และการทำให้แห้งของแผ่นเวเฟอร์ กำลังขับสามารถปรับให้เหมาะสมกับความเร็วสายการผลิตและขนาดแผ่นเวเฟอร์ และส่วนติดต่อถูกออกแบบให้เข้ากันกับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์มาตรฐาน
นี่คือเหตุผลที่ระบบนี้ทนทานในกระบวนการลิโธกราฟี การอบอ่อนกำหนดรูปแบบของโฟโต้เรซิสต์—หากอุณหภูมิต่ำเกินไป ฟิล์มจะกักเก็บตัวทำละลายไว้ หากร้อนเกินไปจะสูญเสียการควบคุมมิติที่สำคัญ ในกระบวนการทำให้แห้ง ความชื้นตกค้างใดๆ จะเป็นสาเหตุให้เกิดข้อบกพร่อง
ด้วยอินฟราเรด เราจะให้ความร้อนแก่แผ่นเวเฟอร์โดยตรง ไม่ได้ให้ความร้อนที่ห้อง ทำให้อุณหภูมิติดตามสูตรกระบวนการโดยมีการเกินอุณหภูมิน้อยที่สุด ผลลัพธ์คือ ลดการทำงานซ้ำ มิติเชิงวิศวกรรมที่เสถียร และประสิทธิภาพข้อบกพร่องที่คาดการณ์ได้ การใช้พลังงานลดลงเพราะความร้อนถูกส่งตามความต้องการ—ไม่มีการทำงานเปล่าของห้องขนาดใหญ่
ข้อควรทราบในทางปฏิบัติสองสามประการ การติดตั้งต้องจับคู่ตำแหน่งฮีตเตอร์และการจัดแนวแสงกับแพลตฟอร์มของคุณ และชิ้นส่วนควอทซ์ต้องได้รับการจัดการอย่างระมัดระวังในระหว่างการบำรุงรักษาเพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดรอยร้าวขนาดเล็ก การเริ่มใช้งานใช้เวลาสั้น เราจะปรับอัตราการเร่งอุณหภูมิและกำลังของอีมิทเตอร์ในแต่ละขั้นตอนกระบวนการ
เมื่อระบบตั้งค่าเสร็จแล้ว จะทำงานด้วยการปรับแต่งน้อยมาก แต่ควรวางแผนตรวจสอบการสอบเทียบเป็นระยะเพื่อรักษาความสม่ำเสมอ ±0.1°C ในระยะยาว