ในห้องปฏิบัติการที่มีสภาพอากาศควบคุมได้แม่นยำนั้น แม้ว่าอุณหภูมิจะเปลี่ยนแปลงเพียงครึ่งองศาเดียว ก็อาจส่งผลให้ขนาดของชิ้นส่วนเปลี่ยนไป จนทำให้ชิ้นงานทั้งหมดเสียหายได้ เราจึงออกแบบตัวควบคุมกำลัง SCR ขึ้นมา เพื่อป้องกันไม่ให้อุณหภูมิเปลี่ยนแปลง ทำให้กำลังไฟที่ส่งออกมามีความแม่นยำตามที่กำหนดไว้
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เป็นตัวควบคุมแบบลูปปิดที่ทำงานร่วมกับตัวขับไฟที่เหมาะสมกับแหล่งกำเนิดแสงประเภทฮาโลเจน ควอตซ์ คลื่นสั้น คลื่นกลาง และแหล่งกำเนิดแสงแบบคาร์บอนไฟเบอร์ ทำให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนแผ่นปฏิกรณ์อยู่ที่ ±0.1°C และความสม่ำเสมอของผลลัพธ์ระหว่างแต่ละชุดการผลิตอยู่ที่ ±0.2°C กำลังไฟที่ส่งออกมามีความแม่นยำถึง 0.1% ของค่าที่กำหนดไว้ โดยมีเวลาตอบสนองต่อการเปลี่ยนแปลงค่าที่กำหนดไว้น้อยกว่า 10 มิลลิวินาที อุปกรณ์นี้ถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยไม่มีการสร้างฝุ่นใดๆ จากระบบทำความร้อน และมีการออกแบบให้ไม่มีผลกระทบต่อระบบลิโธกราฟีด้วย
การประมวลผลฟอโตเรซิสต์ ไม่ว่าจะเป็นการอบในอุณหภูมิต่ำ อุณหภูมิสูง หรือการอบหลังการถ่ายภาพ ล้วนขึ้นอยู่กับการควบคุมอุณหภูมิทั้งสิ้น ด้วยตัวควบคุม SCR ที่ช่วยรักษากำลังไฟให้คงที่ ทำให้ได้ค่า CD และรูปร่างของชิ้นส่วนที่แม่นยำในทุกครั้งที่ผลิต ส่งผลให้มีการปรับแก้ชิ้นงานน้อยลง มีอัตราการผลิตที่ดีขึ้น และมีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่สามารถพึ่งพาได้ในทุกชุดการผลิต
นอกจากนี้ ยังช่วยประหยัดพลังงานอีกด้วย เพราะหลอดไฟไม่ต้องทำงานหนักเพื่อตามอุณหภูมิที่เปลี่ยนแปลงไป และอายุการใช้งานของหลอดไฟก็ยืนยาวขึ้นเมื่ออยู่ภายใต้สภาวะการทำงานที่มีเสถียรภาพ
นี่คือรายละเอียดที่คุณจำเป็นต้องรู้ ตัวขับไฟจะต้องเหมาะสมกับค่าความต้านทานของหลอดไฟในช่วงเริ่มต้นการทำงาน หากหลอดไฟไม่เหมาะสม ก็อาจทำให้กระแสไฟเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว และทำให้ระบบป้องกันทำงาน ในการติดตั้ง จำเป็นต้องมีสายควบคุมที่มีสัญญาณรบกวนน้อย และสายควบคุมนั้นจะต้องอยู่ห่างจากสายไฟที่มีกระแสสูง นอกจากนี้ พื้นผิวที่ใช้เชื่อมต่อกับหลอดไฟก็ต้องสะอาดและเรียบ เพื่อให้มีความสม่ำเสมอของอุณหภูมิตามที่กำหนดไว้
คาดว่าจะใช้เวลาไม่นานในการปรับแต่งค่า PID เพื่อให้เหมาะสมกับหลอดไฟและแผ่นปฏิกรณ์ของคุณ