Fabrika katında, fotoresist işlemlerinde sıcaklık kaymasını eski bir düşman gibi yönetmeyi öğrenirsiniz. Wafer genelinde ±3°C toleransla 90°C’de yumuşak pişirme mi? Böyle bir dağılım kritik boyut sapmasına neden olur ve daha sonra yeniden işleme olarak karşınıza çıkacak kenar boncukları bırakır. Bu belirsizliği ortadan kaldırmak için özel bir endüstriyel kızılötesi fab sistemi geliştirdik—süreç için gereken noktada tekrarlanabilir ısı sağlar, hava hareketi olmadan ve partikül eklemeden.
Teknik olarak önemli olan
Kısa dalga kızılötesi yayıcıları hızlı ve doğrudan wafer’a tepki verecek şekilde çalıştırıyoruz, böylece hızlı ısıtma yapabilir ve gerçek kontrolle sabit tutabiliriz. Çenede termal üniformite ±0.1°C içinde kalır ve banttan banda sıcaklık tekrarlanabilirliği ±0.5°C’den daha iyidir.
Modül, sızdırmaz termal tasarım ve düşük gaz çıkışı yapan malzemeler sayesinde Class 1–100 temiz oda uyumluluğuna sahiptir. Pişirme sırasında partikül oluşumu sıfırdır. Entegre metroloji, hat voltajı değişse veya çevresel koşullar dalgalansa bile setpoint’i koruyan kapalı döngü kontrolörüne veri besler.
Sonuç olarak güvenilir bir termal bütçe elde edilir—gün be gün tutarlı yumuşak pişirme ve sert pişirme profilleri.
Önemli noktalarda neden işe yarar
Litografi ve resist sertleştirme termal stabiliteye bağlıdır. Bu sistem pişirme adımını sabitler, böylece çizgi genişliği kontrolü sıkılaşır ve kenar boncukların giderilmesi öngörülebilir hale gelir. Hurda ve yeniden işlem azalır, verimi düşüren sapmaları kovalamayı bırakırsınız.
Enerji tüketimi de azalır çünkü yayıcılar hedefi ısıtır, tüm kabini değil. 7/24 çalışacak şekilde tasarlandığından çalışma süresi sabittir ve yayıcı paketi modülerdir, dakikalar içinde değiştirilebilir.
Doğru yapılması gerekenler
Modül yeni hatta veya mevcut hatlara entegre edilebilir ancak yerleşim ve ara yüzleri erken planlayın. Devreye alma, tarif sıcaklıkları, sensör ofsetleri ve konveyör hızı hizalanmaya hazır gelinirse hızlı olur.
Yayıcılar yüksek yoğunlukludur, bu yüzden bitişik istasyonların termal izolasyonu zorunludur. Koruma lojiklerinin sorun çıkarmaması için temiz oda güç kondüsyonu gereklidir—aksi takdirde transiyentler tetikler.
Doğru kurulursa hat plansız kesintisiz çalışır ve proses pencereleri genişler.