Isınığınızı boşa harcamayın.
Standart kızılötesi lambaların sorunu şudur: Isıyı her yöne yayıyorlar; 360 dereceye kadar radyasyon oluşuyor. Bu tür lambalardan birini yarı iletkenlerin bulunduğu odaya koyduğunuzda, sadece wafer’ı ısıtmıyorsunuz; aynı zamanda makinenin iç duvarlarını, şasisini ve aslında makinedeki diğer her şeyi de ısıtıyorsunuz. Bu da enerji israfı demektir. Ayrıca bu durum güvenlik açısından da ciddi bir risk oluşturur. Kimse, ısı her yere yayıldığı için operatörleri yakacak kadar sıcak olan bir makine istemez.
Çözüm:
Bunu çözmek için kuvars zarın arka yüzeyine ince bir altın tabakası ekliyoruz. Bunu kızılötesi ışığ için yüksek kaliteli bir ayna olarak düşünebilirsiniz. Böylece enerji tekrar ekipmanın iç kısmına doğru geri gelmek yerine, tam tersi olarak ön tarafa yönlendiriliyor. Böylece gereken yerde daha yoğun ve etkili bir ısı elde edilmiş oluyor. Sonuç olarak wafer ihtiyacı olan sıcaklığa ulaşıyor, ancak makinenin duvarları dokunulduğunda hâlâ serin kalıyor.
Değerlendirme:
Isı odaklandığı için, iç kabloların erimesinden veya makinedeki aşırı ısınma sensörlerinin devre dışı kalmasından endişe etmeden daha yüksek watt yoğunlukları kullanılabilir. Bu, termal stabilitenin çok önemli olduğu yüksek hassasiyetli uygulamalar için büyük bir avantajdır.
Ancak bir dezavantajı var: Tüm enerji tek bir yöne gittiği için hedef noktadaki akım yoğunluğu çok daha yüksek oluyor. Eğer malzemeniz bu artışa dayanamazsa, substrat üzerinde sıcak noktalar oluşabilir. Bu durumu ortadan kaldırmak için PID kontrol cihazlarını ayarlamak gerekiyor. Bu küçük bir ayarlama, büyük bir fayda sağlar.
Neden bu önemli?
Altın kaplı lambalar kullanıldığında, soğutma fanlarının kapasitesini abartmaya gerek kalmaz. Artık makinenin duvarlarını kaplayan devasa ısı koruma panellerine ihtiyaç yoktur. Bu sayede tüm sistem daha verimli çalışır. Operatörler makinenin etrafında rahatça hareket edebilir ve enerji maliyetleri de azalır. Kısacası her şey daha iyi işliyor.