Kurutma Sırasında MEMS Waflarınızı Temiz Tutmak
Eğer Class 100 temiz oda koşullarında çalışıyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz: Isıtıcıdan kaynaklanan küçük bir kir parçası bile tüm waflarınızın boşa gitmesine neden olabilir. Bu durum oldukça sinir bozucudur. İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını tercih ediyoruz.
Çoğu ısıtıcı eleman zamanla gaz salgılar veya parçalanmaya başlar. Ancak bu kuvars tüpleri böyle bir soruna neden olmaz. Waflara hızlı bir şekilde ısı verirler; ancak herhangi bir metalik atık bırakmazlar.
Kuvarsın Neden İyi Olduğu
Kısa dalga boyundaki kızılötesi ışığı kullanmamızın bir sebebi vardır: Kısa dalga boyundaki ışınlar, uzun dalga boyundaki ışınlara kıyasla wafların yüzeyindeki nemleri çok daha hızlı bir şekilde yok eder. Kuvarsın saflığı sayesinde, iyonların MEMS sensörlerinize geçmesinden endişelenmenize gerek kalmaz. Ayrıca kuvars kabuğu, tungsten filamentlerini temiz oda havasından koruyarak sıkı bir şekilde kapalı tutar. Ucuz camları kullanmaktan kaçınıyoruz; çünkü bunlar yüksek sıcaklıklara dayanamaz ve hızlı değişimler sırasında kırılır.
Küçük Alanlarda Yüksek Güç Üretimi
Bu lambalar, her inç başına büyük miktarda güç üretir. Bunun avantajı şudur: Daha küçük boyutlarda bir ısıtıcı kullanabilirsiniz ve yine de sıvıları anında buharlaştırmak için yeterli ısı elde edebilirsiniz. Ayrıca mevcut PID kontrol cihazlarıyla da uyumludurlar; böylece sıcaklık ayarları istediğiniz şekilde kalır.
Ancak dikkat etmeniz gereken bir nokta var: Isı yoğunluğu çok yüksek olduğu için lambanın yüzeyi hızla ısınır. Eğer gövdeniz yüksek sıcaklıkta hava akışına dayanacak şekilde yapılmamışsa, şasiiniz bozulabilir veya aşırı ısınma sensörleri devreye girebilir. Kurulum sırasında bunu göz önünde bulundurmalısınız.
Gerçek Dünyada Kullanım
Bunları otomatik wafer işleme sistemlerinin yerine geçecek şekilde tasarladık. Wafların tüm çapını eşit şekilde ısıtarlar; bu sayede “soğuk noktalar” oluşmaz ve rahatsız edici su izleri veya kalıntılar kalmaz.
En iyisi ise, wafların üzerine zorla sıcak hava üflememesidir. Genellikle kenarlardan parçacıkların uçuşmasına neden olan türbülanslarla uğraşmak zorunda kalmazsınız. Böylece temiz bir yüzey ve gerçekten temiz waflar elde edersiniz.