Üretim alanında, yarım derece kadar bile olsa meydana gelen küçük sıcaklık değişiklikleri, kritik ölçümleri bozabilir ve tüm ürünlerin boşa gitmesine neden olabilir. Lambanın çıkış gücünün istenen değerlerde kalmasını sağlamak için SCR güç düzenleyicileri kullanıyoruz; böylece lambanın çıkış gücü, hat voltajından ziyade belirlenen değerlere göre ayarlanır.
Teknik açıdan önemli olanlar: Bu sistem, halojen, kuvars, kısa dalga, orta dalga ve karbon fiber tabanlı NIR kaynakları için uyumlu olan bir lamba sürücüsü ile birlikte çalışan kapalı döngülü bir SCR kontrol cihazıdır. Böylece fırın plakasının üzerindeki sıcaklık değerleri ±0,1°C civarında sabit kalır ve ürünler arasındaki tutarlılık da ±0,2°C içinde kalır. Çıkış gücü, ayarlanan değerin %0,1’i kadar stabil kalır; ayrıca ayar değişikliklerine 10 ms’den daha kısa sürede yanıt verilir. Bu cihaz, 1–100 sınıfı temiz odalar için tasarlanmıştır; termal süreçler sonucunda hiçbir parçacık oluşmaz ve EMI etkilerinden korunarak litografik işlemler etkilenmez.
Fotorezist işlemleri – yumuşak pişirme, sert pişirme ve maruziyet sonrası pişirme – tamamen sıcaklık kontrolüne bağlıdır. SCR düzenleyici sayesinde lambanın enerjisi sabit kalır ve her seferinde hedeflenen sonuçlar elde edilir. Bunun sonucunda daha az yeniden işleme gerekiyor, ilk denemede daha yüksek verim elde ediliyor ve farklı waferler arasında tutarlı sıcaklık profilleri elde ediliyor.
Ayrıca, lambalar aşırı yüklenmediği için enerji tasarrufu sağlanır ve stabil çalışma koşulları altında lambaların ömrü uzar.
İhtiyacınız olan pratik detaylar şunlardır: Sürücünün, soğuk başlangıçta lambanın direnç eğrisine uyumlu olması gerekir; uyumsuz lambalar ani akım artışlarına neden olabilir ve koruma sistemlerini devreye sokabilir. Kurulum sırasında yüksek akımlı devrelerden uzakta, düşük gürültülü bir kontrol hattı kullanılmalıdır. Ayrıca, bu tutarlılık özelliklerinin korunabilmesi için termal arayüzün temiz ve düz olması gerekir.
Belirli lamba ve fırın koşullarınıza uygun PID ayarlarını yapabilmek için kısa bir test süreci gereklidir.