Neden konveksiyon fırınlarını terk edip UHP kızılötesi kurutucuları kullanıyoruz?
Uzun süredir yarı iletken fabrikaları bu büyük konveksiyon fırınlarına bağımlı kalmıştır. Ama dürüst olmak gerekirse, bunlar biraz eski teknolojidir. Şu an Ultra Yüksek Saflıkta (UHP) kızılötesi lambalara doğru büyük bir geçiş yaşanıyor. Bu sadece “yeşil enerji” hedeflerine ulaşmak veya kurşunsuz üretim zorunluluklarına uymakla ilgili değil; mantıklı bir çözüm olduğu için de tercih ediliyor.
Düşünün: Zorlu hava sistemleri, bir wafer’i kurutmak için tüm odayı ısıtmaya çalışır. Bu gereksizdir. UHP lambalar ise farklıdır; elektromanyetik radyasyon kullanarak enerjiyi doğrudan yüzeye gönderir. Ara aracılara gerek yoktur.
Fiziği aslında oldukça basit.
Geleneksel kurutucular kullanıldığında, makinenin iç duvarlarını ısıtmak için çok fazla enerji harcanır. Bu, evi yolun üzerini ısıtarak ısıtmaya çalışmak gibi bir şeydir. UHP lambalarla ise kimyasal kaplamaların veya fotoresistlerin özel emilim bölgeleri hedeflenir. Bir düğmeye basılır ve işlem anında gerçekleşir; makinenin “ısınmasını” beklemeye gerek yoktur. Bu sayede her wafer için daha az elektrik tüketilir ve bu da finans alanındaki herkesi memnun eder.
Temizliği korumak.
Temiz odalarda “gaz salınımı” büyük bir sorundur. Yanlış yerde bulunan tek bir parçacık bile soruna neden olabilir. Bu yüzden bu lambalar yüksek saflıkta sentetik kuvars ve özel filamlarla üretilir. Hiçbir şeyin dökülmemesine dikkat edilir. “Kurşunsuz” derken sadece devre kartlarındaki lehimleri kastetmiyoruz; tüm işlem sürecini kastediyoruz. Kızılötesi teknolojisi sayesinde, kirletici maddeler taşıyabilecek çözücüler veya kötü hava akışlarına ihtiyaç duymuyorsunuz. Sadece temiz ve kuru bir yüzey elde edersiniz.
Eksiklikler (çünkü her zaman bir eksiklik vardır.)
Bu lambalar küçük bir alanda çok fazla güç üretir. Bu, daha fazla wafer’in işlenmesi açısından harika bir özelliktir. Ancak bu durum soğutma sistemlerine büyük baskı yaratır. Eğer yüksek güçlü UHP lambalar kullanırsanız ancak soğutma sisteminizi yenilemeyi unutursanız, sorunlar yaşarsınız. Wafer’lerin kenarları aşırı ısınabilir ve bu da şekil bozukluklarına yol açar. Lambanın gücü ile yüzeyin termal kapasitesi arasında doğru dengeyi bulmak gerekir.
İyi haber şu ki, bu lambalar mevcut vakum veya atmosferik sistemlere kolayca entegre edilebilir. Böylece büyük ve çok enerji tüketen fanlar ve ısıtıcılar ortadan kalkar ve karbon ayak iziniz de azalır.