Як зберегти пластини MEMS бездоганно чистими під час сушіння
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви знаєте, яка це проблема: одна маленька крихта з нагрівача може зруйнувати всю партію пластин. Це дуже розчаровує. Саме тому ми використовуємо лампи інфрачервоного світла з високочистим синтетичним кварцем.
Більшість нагрівальних елементів з часом починають виділяти гази чи тріскатися. Але кварцові трубки не мають таких проблем. Вони надають пластинам достатню кількість тепла для швидкої сушіння, при цьому не залишаючи жодних металевих відходів.
Чому саме кварц є оптимальним вибором
Ми обираємо коротковолнове інфрачервоне світло через його здатність швидко усувати вологу з поверхні пластин. Оскільки кварц є дуже чистим, не потрібно хвилюватися про міграцію іонів на сенсори MEMS. Крім того, кварцова оболонка є герметичною, що запобігає контакту вольфрамової нитки з повітрям у чистій кімнаті. Ми уникаємо дешевого скла – воно не витримує високих температур та може тріскатися вже під час роботи.
Висока ефективність у компактних розмірах
Ці лампи випромінюють велику кількість енергії на квадратний дюйм. Це означає, що можна зменшити розміри нагрівача, при цьому все одно отримуючи достатньо тепла для миттєвої конденсації рідини. Вони також чудово поєднуються з існуючими контролерами PID, тож температура залишається саме такою, якою ви хочете.
Однак є один недолік: через високу щільність тепла поверхня лампи швидко нагрівається. Якщо корпус лампи не розрахований на високі температури, це може призвести до деформації корпусу чи постійного спрацьовування датчиків перегріву. Це щось, на що потрібно звернути увагу під час налаштування.
Практичне застосування
Ці лампи призначені як заміна для автоматизованих систем обробки пластин. Вони рівномірно нагрівають всю поверхню пластини, що значно спрощує процес сушіння. Крім того, не виникає „холодних зон“ чи слідів води на поверхні пластини.
А ще краще те, що не виникає примусового потоку гарячого повітря над пластиною. Не потрібно боротися з турбулентністю, яка зазвичай піднімає частинки з країв пластини. У результаті поверхня пластини залишається сухою та чистою.