На літографічному столі процедура випалювання полііміду є ключовою для контролю товщини ліній на пластині. Кілька градусів відхилення призводять до зміщення ліній по боках пластини. „Гарячі точки“ проявляються у збільшенні кількості частинок на поверхні пластини. Процедуру випалювання необхідно проводити регулярно, якісно та швидко – для кожної партії продукції.
Що є важливим у цьому процесі
Ми розробили цей пристрій для випалювання полііміду на основі інфрачервоної лампи, чия сприйнятливість у НІР-діапазоні відповідає характеристикам поглинання поліімідом. Енергія потрапляє саме туди, де її потребує плівка, без пошкодження самої платформи. Це забезпечує однорідність температури на поверхні пластини ±0,1°C, а також стабільність параметрів температури протягом усього процесу. Випромінювач розроблений для роботи в умовах чистих приміщень класу 1–100; матеріали та елементи запірних пристроїв обрані так, щоб уникнути утворення частинок. У виробництві це означає менше відхилень, більш точний розподіл параметрів та передбачуваний рівень вихідної продукції.
Чому цей пристрій підходить для цього процесу
Процедура м’якого та жорсткого випалювання полііміду знаходиться прямо в середині теплового процесу фоторезисту. Наша лампа може використовуватися в існуючих установках для випалювання як засіб, що відповідає стандартам SEMI. Ви можете залишитися при тому самому процесі, але отримати швидше досягнення бажаної температури, менше енергії на одну партію продукції та більш тривалий термін служби випромінювача – все це підтверджується 5 000+ годинами стабільної роботи, що відповідає міжнародним стандартам. Для інженерів це означає менше необхідності в коригуваннях, менше часу на технічне обслуговування та можливість повторного використання профілів випалювання для кожної партії продукції.
Практичні аспекти
Модернізація є простою, але толеранція щодо положення лампи є досить високою. Лампу необхідно розташувати так, щоб зберегтися однорідність температури. Потрібен короткий час на налаштування профілю випалювання та перевірку розподілу температури. Після цього процес можна вважати контрольованим. Таким чином, теплову однорідність можна вважати чимось, на що можна покластися, а не чимось, що потрібно постійно контролювати.