На лінії літографії все просто: навіть незначна зміна температури під час процесу випалювання може призвести до того, що контроль критичних розмірів стане неможливим. У такому разі доводиться утилізувати всі вафери.
Ми створили цей пристрій для вимірювання поверхневого натягу на ваферах, щоб запобігти таким змінам ще на початковому етапі. Він допомагає забезпечити стабільні умови під час процесу випалювання – коли хімічні властивості фотополімеру, температурні умови та поверхнева енергія мають бути ідеально синхронізовані.
Суть пристрою полягає у тому, що він забезпечує теплову однорідність на поверхні вафера на рівні ±0,1°C. Навіть при безперервній роботі протягом 24/7 значення температури залишається стабільним.
Пристрій достатньо компактний, щоб поміщатися на лініях вимірювань. Його конструкція підходить для роботи в чистих кімнатах класу 1–100. Матеріали, з яких він виготовлений, забезпечують мінімальне виділення частинок. Відсутність частинок – це не просто рекламний трюк; це результат ретельної конструкції пристрою, яка запобігає будь-якому виділенню частинок.
Стабільність процесу можна побачити у записах даних. Кожен процес випалювання фіксується з точністю до певних параметрів, тож кожного разу отримується однаковий профіль температур.
Що це означає на практиці? Процес випалювання стає більш передбачуваним, а не хаотичним. Це дозволяє досягти кращої однорідності розмірів вафер, зменшує кількість необхідних корекцій та скорочує кількість відходів через недосконале випалювання.
Користування енергії зменшується, оскільки пристрій швидко досягає заданої температури та підтримує її без перевищень. Також зменшується кількість непланових зупинок, оскільки теплова стабільність усуває необхідність постійного контролю процесу.
Одна порада щодо встановлення: пристрій працює найкраще, коли фіксація в камері здійснюється з точністю до 0,1 мм, а потік охолоджуючої рідини відповідає необхідним параметрам. Потрібен лише короткий час на налаштування пристрою, щоб досягти оптимального профілю температур.
Після цього процес залишається під контролем.