Чому ми відмовляємося від конвекційних печей на користь Ультра-високочистотних інфрачервоних ламп
Протягом довгого часу заводи з виробництва напівпровідників використовували саме такі конвекційні печі. Але, чесно кажучи, вони вже застаріли. Сьогодні спостерігається значний перехід на використання Ультра-високочистотних інфрачервоних ламп. Йдеться не лише про досягнення цілей щодо використання „зеленої“ енергії чи дотримання вимог щодо відсутності свинцю – це просто запити здорового глузду.
Уявіть собі: системи з примусовою циркуляцією повітря намагаються нагріти всю кімнату, щоб підсушити пластину. Це зайве. Ультра-високочистотні лампи працюють інакше – вони передають енергію безпосередньо на поверхню матеріалу за допомогою електромагнітного випромінювання. Немає жодних посередників.
Фізика цього процесу насправді дуже проста. Коли ви використовуєте традиційний сушарку, ви марнуєте багато енергії на нагрів внутрішніх стінок пристрою. Це все одно, що намагатися зігріти будинок, нагріваючи під’їзну доріжку.
За допомогою Ультра-високочистотних ламп ми можемо точково впливати на специфічні діапазони поглинання хімічного покриття чи фоторезисту. Достатньо лише увімкнути лампу – і все готово. Не потрібно чекати, поки пристрій „нагріється“. Це означає значну економію електроенергії на одну пластину, що, звісно, приємно для всіх, хто займається фінансами.
Підтримка чистоти
У чистій кімнаті основним проблемою є випаровування речовин. Одна лише маленька частинка в неправильному місці може створити проблеми.
Саме тому ми виготовляємо ці лампи з високочистотного синтетичного кварцу та спеціальних філаментів. Ми піклуємося про те, щоб ніщо не випаровувалося. Коли ми говоримо про відсутність свинцю, ми маємо на увазі не лише паяльний матеріал, а й усю процедуру обробки. Використовуючи інфрачервоне випромінювання, ви можете уникнути використання розчинників чи шкідливих для повітря потоків повітря. В результаті отримується чиста, суха поверхня.
Недоліки
Є один недолік: ці лампи мають велику потужність у компактних розмірах. Це чудово для прискорення процесу обробки пластин, але це також створює великий тиск на системи охолодження.
Якщо ви встановите лампи високої потужності, але не оновите систему охолодження, у вас можуть виникнути проблеми. Краї пластини можуть перегрітися, що призведе до її деформації. Потрібно знайти правильний баланс між потужністю лампи та тепловою ємністю матеріалу.
Хороша новина полягає у тому, що ці лампи можна легко встановити у ваші існуючі системи вакууму чи атмосферного середовища. Таким чином ви можете позбутися великих, енергоємних вентиляторів та нагрівачів, а ваш вплив на навколишнє середовище значно зменшиться.