خشک کرنے کے عمل کے دوران MEMS ویفروں کو صاف رکھنا
اگر آپ کلاس 100 کے صاف کمرے میں کام کرتے ہیں، تو آپ اس مشکل کو جانتے ہیں: ہیٹر سے نکلنے والا ایک چھوٹا سا ٹکڑا بھی پورے ویفروں کو بیکار کر سکتا ہے۔ یہ بہت پریشان کن ہے۔ اسی لئے ہم اعلیٰ خالصیت والے سنتھیٹک کوارٹز IR لیمپ استعمال کرتے ہیں۔
زیادہ تر ہیٹنگ عناصر وقت کے ساتھ ٹوٹنے لگتے ہیں۔ لیکن کوارٹز ٹیوبیں ایسا نہیں کرتیں۔ یہ ویفروں پر تیز حرارت پہنچاتی ہیں، لیکن اس عمل میں کوئی دھاتی ذرات باقی نہیں رہتے۔
کوارٹز کیوں کارگر ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ کا استعمال اس لئے کرتے ہیں کیونکہ یہ ویفروں کی سطح پر موجود نمی کو تیزی سے ختم کر دیتا ہے۔
چونکہ کوارٹز بہت خالص ہے، اس لئے آپ کو MEMS سینسروں پر آئنوں کے اثرات کی فکر نہیں کرنی پڑتی۔ اس کے علاوہ، کوارٹز کی ساخت ایک مضبوط بندش کا کام کرتی ہے، جس سے ٹنگسٹن فلامنٹ صاف کمرے کی ہوا سے الگ رہتا ہے۔ ہم سستے شیشے کا استعمال نہیں کرتے، کیونکہ وہ اس قدر درجہ حرارت کو برداشت نہیں کر سکتا۔
چھوٹے سے رقبے میں زیادہ حرارت پیدا کرنا
یہ لیمپ فی انچ میں بہت زیادہ واٹ جاری کرتے ہیں۔ اس کا فائدہ یہ ہے کہ آپ اپنے ہیٹر کے سائز کو چھوٹا رکھ سکتے ہیں، جبکہ پانی کو فوراً بھاپ بنانے کے لئے کافی حرارت موجود رہتی ہے۔ یہ لیمپ آپ کے موجودہ PID کنٹرولرز کے ساتھ بھی بہتر طریقے سے کام کرتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت بالکل ویسا ہی رہے جیسا آپ چاہتے ہیں۔
لیکن ایک بات کا خیال رکھیں: چونکہ حرارت کی کثافت بہت زیادہ ہے، اس لئے لیمپ کی سطح بہت جلد گرم ہو جاتی ہے۔ اگر آپ کا ہیٹر اعلیٰ درجہ حرارت کو برداشت نہیں کر سکتا، تو آپ کے ہیٹر میں خرابی پیدا ہو سکتی ہے، یا اوور ہیٹ سینسرز سرگرم ہو سکتے ہیں۔ اس بات کا خیال رکھنا ضروری ہے۔
حقیقی دنیا میں خشک کرنے کا عمل
ہم نے ان لیمپوں کو خودکار ویفر ہینڈلنگ سسٹموں کے متبادل کے طور پر تیار کیا ہے۔ یہ لیمپ ویفروں کی پوری سطح کو یکساں طور پر گرم کرتے ہیں، جس کی وجہ سے کوئی “سرد جگہ” نہیں رہتی، اور نہ ہی پانی کے نشانات یا باقیات باقی رہتی ہیں۔
اور یہ سب سے بہترین بات ہے: ویفروں پر کوئی مجبور کرکے گرم ہوا نہیں پھونکی جاتی۔ آپ کو ان تکلیف دہ مسائل سے نمٹنے کی ضرورت نہیں ہے۔ آپ کو صرف ایک خشک سطح اور صاف ویفر ہی ملتا ہے۔