لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے عمل کی تکراری صلاحیت کوئی اختیاری خصوصیت نہیں، بلکہ یہ تو اس عمل کا لازمی حصہ ہے۔ نرم یا سخت بیکنگ کے دوران 2°C کا فرق بھی کرنٹ ڈائمینشن کنٹرول کو متأثر کر سکتا ہے، اور ایک ہی ذرہ بھی پورے پروڈکشن لاٹ کو تباہ کر سکتا ہے۔ ہم نے آزون-فری انفراریڈ لیمپ تیار کئے ہیں تاکہ ان مسائل سے بچا جا سکے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟
یہ لیمپ نیئر-انفراریڈ (NIR) روشنی پر کام کرتے ہیں، اور ان میں آزون کی مقدار بالکل نہیں ہے؛ اس لیے کیٹالیٹک کنورٹر اور اس سے متعلقہ دیکھ بھال کی ضرورت ہی نہیں ہے۔ روشن کیے گئے علاقے میں، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، جبکہ پروسیس کی تکراری صلاحیت ±0.2°C کے اندر رہتی ہے۔
یہ سسٹم کلین روم کلاس 1–100 کے معیارات کے مطابق ہے؛ یعنی کم گیس خارج ہونے والے مواد، بند آپٹیکل راستے، اور ایسا ہوا کا بہاؤ جو ذرات کو ویفر سے دور رکھتا ہے۔ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ کے استعمال کے بعد بھی آؤٹ پٹ کی استحکام <1% رہتا ہے؛ یعنی اسے 24/7 پروڈکشن شیڈول کے مطابق کام کرنے کے لیے مسلسل کیلیبریشن کی ضرورت نہیں ہے۔
پروڈکشن میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ، درجہ حرارت کے کنٹرول پر منحصر ہے۔ ہمارے انفراریڈ لیمپ، ویفر کو براہِ راست اور تیزی سے گرم کرتے ہیں، اور ان میں سخت کنٹرول سسٹم موجود ہے جو ہر لاٹ میں درجہ حرارت کو یکساں رکھتا ہے۔ اس طرح CD کی یکسانیت بہتر ہوتی ہے، دوبارہ پروسیسنگ کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور پروڈکشن کی شرح بہتر ہوتی ہے۔
چونکہ لیمپ جلدی ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتا ہے، اس لیے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ طویل عرصے تک کام کرنے کی صلاحیت کی وجہ سے، سپلائی کی ضرورت اور دیکھ بھال کے اخراجات بھی کم ہوتے ہیں۔ جدید ٹیکنالوجیوں میں، آزون کی عدم موجودگی، کم ذرات کی پیداوار، اور درست درجہ حرارت کنٹرول کی وجہ سے ویفر کی حفاظت ہوتی ہے، اور آلات کے ماحول کی بھی حفاظت ہوتی ہے۔
آپ کو کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
یہ لیمپ، معیاری سیمی کنڈکٹر آلات کے انٹرفیسز سے جڑ سکتے ہیں، لیکن تھرمل لوڈ کا انتظام بہت اہم ہے۔ انسٹالیشن کے دوران، آلات کی حرارت کو کم کرنے کے لیے مناسب انتظامات ضروری ہیں؛ اگر کولنگ ڈیزائن درست نہ ہو، تو طویل مدتی استحکام متاثر ہوگا۔
کمیشننگ کے دوران، سیٹپوائنٹ کی درستگی کی جانچ کریں، تاکہ پروسیس کے دوران کوئی مسئلہ نہ ہو۔ جب یہ الائنمنٹ درست ہو جائے، تو پروسیس مستقل طور پر قابل پیشن گوئی رہتا ہے۔