کٹنگ سائیکل کا وقت: ویکیوم میں آئی آر کیوں بہتر ہے؟
اگر آپ سیمی کنڈکٹرز کی گہری پروسیسنگ میں کام کرتے ہیں، تو آپ جانتے ہیں کہ سب سے بڑی مشکل “وقت کی لاگت” ہے۔
زیادہ تر لوگ ہاٹ ایر سسٹم کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ طریقہ کارگر ہے، لیکن بہت سست ہے۔ دراصل، یہاں ہوا کو گرم کیا جاتا ہے، اور پھر امید کی جاتی ہے کہ یہ ہوا ویفر کو گرم کر دے گی۔ لیکن مسئلہ یہ ہے کہ جب ویکیوم میں کام کیا جاتا ہے، تو وہاں کوئی ہوا ہی نہیں ہوتی۔ اس طرح، آپ کے پاس کوئی “واسطہ” ہی نہیں رہتا۔
یہی وجہ ہے کہ ویکیوم-مطابقت رکھنے والے آئی آر ہیٹر استعمال کیے جاتے ہیں۔ آئی آر ہیٹر، کسی واسطے کے بغیر، براہِ راست توانائی کو سبسٹریٹ پر منتقل کرتے ہیں۔
اب وینٹیلیشن کا انتظار کرنے کی ضرورت نہیں
ہاٹ ایر سسٹم میں بہت زیادہ “تھرمل انرشیا” ہوتی ہے۔ یعنی، یہ سسٹم بہت سست ہے۔ کام شروع کرنے سے پہلے، چیمبر کی دیواروں اور پورے ہوا کے حجم کو گرم کرنا پڑتا ہے۔ یہ ایک بہت بڑی رکاوٹ ہے۔
آئی آر لیمپ الگ ہیں۔ یہ چند سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں۔ چونکہ حرارت کی منتقلی براہِ راست ہوتی ہے، اس لیے آپ کو ان تاخیرات سے نمٹنے کی ضرورت نہیں ہے۔ اس طرح، آپ کا کام منٹوں سے سیکنڈوں میں مکمل ہو جاتا ہے… یہ بہت تیز ہے! اور یہ آپ کے کام کے عمل کو بالکل بدل دیتا ہے۔
ویکیوم کی صفائی کا مسئلہ
اب، آپ کسی بھی ہیٹر کو وہاں استعمال نہیں کر سکتے۔
ستراٹجک ہیٹرز میں گیسیں خارج ہوتی رہتی ہیں۔ ہائی-ویکیوم ماحول میں، ہیٹر پر موجود تھوڑی سی بھی چکنائی یا نامیاتی مرکبات ویفر کو آلودہ کر سکتے ہیں… یہ ایک بہت بڑی مشکل ہے۔
اسے روکنے کے لیے، ہم کوارٹز کے کنٹینرز اور خصوصی ویکیوم-مطابقت رکھنے والے الیکٹروڈز استعمال کرتے ہیں۔ اس سے لیکیج اور آلودگیوں سے بچا جا سکتا ہے۔
ایک بات یاد رکھنے کی ہے: پاور ڈینسٹی۔ اعلیٰ واٹج والے آئی آر لیمپ، چھوٹے سے حجم میں بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ اگر چیمبر کا کولنگ سسٹم مناسب نہ ہو، تو حرارت ویفر کو نقصان پہنچا سکتی ہے… لہذا، سوئچ آن کرنے سے پہلے اپنے پیرامیٹرز کی جانچ ضرور کریں۔
زیادہ ویفرز کو پروسیس کرنا
یہاں سب سے بڑا فائدہ تو کنٹرول ہے۔
آئی آر کے ذریعے، آپ فوری طور پر حرارت پیدا کر سکتے ہیں، اپنا کام مکمل کر سکتے ہیں، اور فوراً ہی حرارت کو بند کر سکتے ہیں۔ آپ کو بڑے اوون کے ٹھنڈا ہونے کا انتظار کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
انجینئروں کے لیے، اس کا مطلب یہ ہے کہ وہ ہر گھنٹے میں زیادہ ویفرز کو پروسیس کر سکتے ہیں… یعنی، آپ کو ان تاخیرات سے نجات مل جاتی ہے۔ آپ صرف ایک سادہ ایئر بلوئر کی بجائے، ایک درست پاور کنٹرولر اور ویکیوم-سیلڈ لیمپ استعمال کرتے ہیں… اور اس طرح، آپ کی پروڈکشن رفتار بہت بڑھ جاتی ہے۔