Kiểm soát nhiệt độ trong phòng sạch bằng công nghệ hồng ngoại
Hãy thừa nhận rằng các phương pháp làm nóng truyền thống đã không còn hiệu quả nữa. Nếu bạn đang vận hành một nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn hay thiết bị điện tử hiện đại, bạn không thể dựa vào phỏng đoán được. Bạn cần có dữ liệu chính xác.
Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng công nghệ hồng ngoại. Thay vì cố gắng làm nóng toàn bộ không khí trong phòng sạch – điều này gây ra nhiều vấn đề cho hệ thống điều hòa không khí và khiến bụi bẩn lan rộng – công nghệ hồng ngoại tập trung nhiệt lượng trực tiếp vào vật thể cần được làm nóng. Đó là cách làm nóng hiệu quả nhất.
Làm cho hệ thống này “thông minh” hơn
Nếu bạn muốn áp dụng công nghệ số hóa trong quy trình sản xuất, bạn cần hệ thống làm nóng có khả năng thích ứng linh hoạt. Chúng tôi thiết kế các hệ thống hồng ngoại sao cho chúng có thể kết nối trực tiếp với các bộ điều khiển PLC thông qua nguồn điện được điều chỉnh.
Điều này có nghĩa là bạn có thể điều chỉnh nhiệt độ một cách tức thời, dựa trên dữ liệu từ các cảm biến. Bạn có thể tăng hoặc giảm nhiệt độ trong vài giây thôi – chứ không phải vài phút. Tốc độ này giúp giảm đáng kể thời gian sản xuất.
Nhược điểm của phương pháp này
Tuy nhiên, để đạt được mức nhiệt độ cần thiết cho quy trình xử lý wafer, bạn cần sử dụng các thiết bị phát nhiệt công suất cao. Những thiết bị này mang lại hiệu quả cao, nhưng cũng tạo ra lượng nhiệt lớn. Bạn cần đảm bảo rằng khung máy và hệ thống làm mát của bạn có khả năng đối phó với sự gia tăng nhiệt độ này. Nếu hệ thống làm mát yếu, nhiệt độ sẽ tăng lên, và điều đó dẫn đến lãng phí vật liệu.
Tại sao phương pháp này phù hợp với phòng sạch
Các thiết bị làm nóng bằng convection khiến không khí chuyển động, trong khi đó trong phòng sạch, việc này thực sự là một rủi ro không thể chấp nhận được. Công nghệ hồng ngoại giúp giữ cho mọi thứ ổn định. Chúng tôi sử dụng các bộ phát nhiệt làm từ thạch anh và gốm sứ, vì chúng không tạo ra khí độc hay bụi bẩn. Điều này giúp duy trì môi trường sạch sẽ.
Ngoài ra, bạn có thể kết nối các hệ thống này trực tiếp vào mạng SCADA. Như vậy, hệ thống làm nóng không còn là một “hộp đen” mà bạn chỉ có thể hy vọng nó hoạt động tốt. Đó là một dữ liệu có thể được theo dõi. Nếu một lô sản phẩm bị lỗi, bạn không cần phải suy đoán nguyên nhân. Bạn chỉ cần xem lại dữ liệu nhiệt độ, xác định chính xác điểm nào có nhiệt độ thấp, rồi khắc phục nó. Thật đơn giản phải không?