Tại sao chúng ta sử dụng dây dẫn PTFE cho các bộ sưởi hồng ngoại trong ngành bán dẫn
Nếu bạn đang vận hành một nhà máy thông minh, cách lắp đặt hệ thống sưởi hồng ngoại có thể quyết định sự thành bại của toàn bộ hoạt động sản xuất. Đối với các bộ sưởi hồng ngoại trong ngành bán dẫn, chúng tôi chọn sử dụng dây dẫn được phủ lớp PTFE (Teflon). Tại sao ư? Bởi vì môi trường trong phòng sạch rất khắc nghiệt với các thiết bị điện tử; chúng ta cần loại dây dẫn có khả năng chịu được nhiệt độ cao và các chất hóa học mà không bị hư hại.
Đối phó với nhiệt độ cao
Chúng tôi chọn PTFE vì nó không bị hư hại khi tiếp xúc với nhiệt độ cao. Các thiết bị phát tia hồng ngoại tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu sử dụng dây dẫn PVC thông thường, lớp vỏ bọc của dây sẽ bị tan chảy hoặc giải phóng khí độc. Đó là tình huống tồi tệ – chúng ta không thể để khí độc làm ô nhiễm các wafer bán dẫn.
PTFE thì vẫn giữ được tính ổn định của mình. Nó cũng có thể chịu được các chất hóa học gây ăn mòn trong quá trình tẩy rửa và xử lý bề mặt wafer. Bạn sẽ không phải lo lắng về việc dây dẫn bị nứt hoặc bong tróc sau vài tháng sử dụng.
Bảo vệ dữ liệu
Ngày nay, việc sưởi ấm không còn là điều duy nhất quan trọng nữa; dữ liệu cũng rất quan trọng. Chúng ta cần theo dõi mọi thứ một cách tức thời.
Vấn đề là các hệ thống sưởi hồng ngoại hiệu suất cao tạo ra nhiều nhiễu điện từ. Nếu không có lớp cách điện phù hợp, nhiễu này sẽ ảnh hưởng đến dữ liệu từ các cảm biến. Các bộ điều khiển PID sẽ cho ra kết quả sai lệch, và điều đó sẽ dẫn đến sự biến đổi nhiệt độ, làm hỏng toàn bộ lô sản phẩm bán dẫn. Đó không phải là cách tốt để bắt đầu một ngày làm việc.
Thực tế về việc lắp đặt
Điểm yếu của PTFE là nó rất trơn. Điều này rất hữu ích khi kéo dây qua các lỗ dây hẹp. Nhưng PTFE cũng cứng hơn silicon. Bạn không thể uốn nó thành những góc nhọn mà không lo bị hư hại lớp vỏ bọc. Bạn cần lên kế hoạch kỹ lưỡng trước khi bắt đầu lắp đặt.
Ngoài ra, các mạch sưởi hồng ngoại có mật độ cao cần một lượng dòng điện lớn. Bạn cần chọn đúng kích thước dây dẫn để tránh sự giảm điện áp. Nhưng nếu dây quá dày, nó sẽ chiếm quá nhiều không gian và cản trở luồng khí. Đó là một thách thức trong việc cân bằng giữa việc cách điện cho dây dẫn và việc đảm bảo các thiết bị điện tử không bị quá nhiệt.