别再浪费热量了！
传统红外灯的问题在于：它们会将热量向各个方向散发，也就是360度全方位辐射。当把这种石英灯放入半导体加工舱中时，它不仅会加热晶圆，还会加热机器的内壁、机壳以及设备中的其他部件。这无疑是一种能源的浪费，而且从安全角度来看也极为危险。没人希望因为热量四处泄漏而让操作员受伤。
理想的解决方案
我们通过在石英灯的背面涂上一层薄薄的黄金来解决这个问题。可以说，这层黄金就像一面高效的反射镜，能够将红外光反射回正前方。这样一来，热量就能集中在需要的地方，从而实现更精准的热量控制。结果就是：晶圆能获得所需的温度，而机器的各个部件则保持凉爽状态。
当然，也有相应的代价
由于热量被集中到了一个方向上，因此可以承受更高的功率密度，而不必担心内部线路会被烧毁或触发过热警报。这对于那些对热稳定性要求极高的应用来说，无疑是个福音。不过，也有一个缺点：因为所有能量都朝着同一个方向传递，所以目标区域的能量密度会非常高。如果材料无法承受这样的压力，那么基板上就可能会出现过热现象。这时就需要调整PID控制器，以应对更高的效率要求。虽然需要做一些调整，但带来的好处却非常大。
为什么这很重要
使用镀金灯泡后，就不必再使用那些庞大的散热装置了。这样一来，整个设备的结构就会变得更加简洁。操作员也可以在机器周围自由移动，而且由于不再需要为让机器内部保持凉爽而浪费能源，因此能源成本也会降低。总而言之，这种方案确实更加高效。