在干燥过程中保持MEMS晶圆表面洁净无瑕
如果在100级洁净室中工作，您肯定知道那有多可怕：哪怕有那么一点点来自加热元件的碎屑，整批晶圆就都报废了。这真是令人沮丧。因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。 大多数加热元件都会随着时间的推移而释放气体或出现碎屑现象。而这种石英管则不会如此。它们能以极快的速度为晶圆提供热量，从而实现快速干燥，而且不会留下任何金属杂质。
为何选择石英材料
我们选择短波红外线，是因为它比长波热能更快地穿透晶圆表面的水分。 由于石英的纯度极高，因此无需担心离子会迁移到MEMS传感器上。此外，石英管还能起到密封作用，使钨丝与洁净室内的空气隔离开来。我们避免使用廉价玻璃，因为那种玻璃无法承受高温，一旦开始快速加热，它就会破裂。
小空间内也能产生强大热量
这些灯每平方英寸就能产生大量热量。这样一来，虽然加热器的尺寸可以更小，但仍能提供足够的热量来迅速蒸发液体。此外，它们还与现有的PID控制器兼容，因此温度控制可以精确到您所期望的水平。 不过有一点需要注意：由于热量密度很高，灯的表面会很快变热。如果外壳无法承受高温气流，那么机箱可能会变形，或者导致过热传感器频繁触发。在安装时一定要注意这一点。
实际应用中的效果
我们设计这些灯是为了替代自动晶圆处理系统。它们能够均匀地加热晶圆的整个表面，这样就不会出现“冷点”，也不会有水渍或残留物。 最棒的是，没有强制性的热风作用于晶圆表面，因此不必担心边缘处的颗粒物问题。最终得到的就是表面干燥且干净的晶圆。