聚酰亚胺烘烤红外灯

在晶圆加工过程中，聚酰亚胺的烘烤步骤是决定线宽控制效果的关键环节。如果温度出现几度的偏差，就会导致晶圆边缘出现不均匀现象；而局部过热则会在晶圆上形成杂质点。因此，烘烤过程必须具备可重复性、稳定性以及高效率——这一点对每一批产品来说都是至关重要的。 关键在于技术原理 我们设计的这种聚酰亚胺烘烤装置采...