晶圆表面张力测量加热器

在光刻生产线上，你知道，只要烘烤温度出现半度的偏差，关键尺寸的控制就会失效。这样一来，那些晶圆就不得不被废弃了。 我们设计了这种晶圆表面张力测量加热器，就是为了在温度出现偏差之前就加以控制。它能够在光阻化学性质、热量分布以及表面能量都达到理想状态的瞬间发挥作用。 其核心功能在于：该加热器能够使晶圆...