Na výrobní lince může posun o 0,3°C v procesu pečení fotorezistu způsobit odchylku šířky linie, která vede k likvidaci celé várky. V masové výrobě...

Na lince 300 mm můžete sledovat úbytek výnosu při posunu teploty o 0,5 °C během pečení fotoresistu. Řízení šířky linií se rychle vymyká kontrole....