Out on the fab floor, you learn to treat temperature drift in photoresist processing like an old enemy. A soft bake at 90°C with ±3°C across the...

Na výrobní lince může posun o 0,3°C v procesu pečení fotorezistu způsobit odchylku šířky linie, která vede k likvidaci celé várky. V masové výrobě...