Reflektor on Modern Infrared Home Heating

Reflektor pro lampu na vytvrzování destiček

Fri, 17 Jul 2026 02:18:01 +0800

Přestaňte nechat teplo unikat všude kolem

Problém s IR lampami spočívá v tom, že vyzařují teplo ve všech směrech. V komoře na zpracování polovodičů je jakákoli energie, která nezasáhne destičku, v podstatě plýtváním.
Ale je to horší než jen plýtvání energií. Toto „zbytečné“ teplo poškozuje vnitřní stěny zařízení. Pokud se obsah stroje zahřeje natolik, že může někomu ublížit, nemáte problém s vytápěním – máte problém s orientací tepla.

Umístění tepla tam, kam opravdu patří

Tento problém řešíme pomocí přesných reflektorů. Myslete na to spíše jako na přetváření světla, než na jeho odrážení.
Když umístíme parabolický reflektor – obvykle pokrytý zlatem nebo hliníkem – za lampu, donutíme veškerou tu IR energii směřovat přímo na destičku. V podstatě tak proměňujeme svítící žárovku v zaměřený paprsek.
Výsledkem je mnohem úžejší prostor působení tepla. Destička dosahuje správné teploty rychleji a samotné zařízení zůstává chladné na dotek.

Infračervená žárovka s zlatým reflektorem

Sun, 12 Jul 2026 06:16:15 +0800

Proč je zlatý reflektor v infračerveném záření tajemstvím lepšího vysychání polovodičů

Staré metody – sušení pomocí rozpouštědel a obrovské konvekční pece – už prostě nebudou stačit. Všichni usilují o „zelené“ a bezolovnaté řešení, ale skutečnou výzvou je to udělat bez zpomalení celé výrobní linky.

A zde přichází na řadu infračervené záření. Ale je tu jeden problém: obyčejný ohřívací prvek nestačí. Potřebujete zlatý reflektor v infračerveném záření.

Kouzlo zlata
Většina lidí začíná s hliníkovými reflektory, ale problém je v tom, že pohlcují příliš mnoho energie. Je to plýtvání. Zlato je jiné – odrazí zhruba 98 % této infračervené energie zpět na čip. Vytvoří tak intenzivní zónu tepla právě tam, kde je potřeba. Nejlepší na tom je, že se nezahřívá celá skříň stroje ani se neplýtvá energií na vzduch kolem součástky. Tím se snižuje spotřeba elektřiny.

Hliníkový reflektor pro IR lampu

Thu, 04 Jun 2026 01:12:45 +0800

Na lithografické lince platí pravidla. Kolísání o 1°C během pečení fotoresistu stačí k tomu, aby se celý batch musel vyřadit. Tepelná regulace musí fungovat jako pevný referenční bod, ne jako proměnná veličina. Proto jsme vyvinuli hliníkový IR reflektor pro polovodičové vytápění, kde závisí výtěžnost na opakovatelnosti.

Co je technicky důležité
Ladíme geometrii reflektoru a povrchovou úpravu tak, aby byla zajištěna ±0,1°C rovnoměrnost teploty po celé ploše waferu, takže váš tepelný rozpočet zůstává stabilní během soft bake i hard bake. Reflektor je kompatibilní s čistými prostory třídy 1–100 a jeho konstrukce s kontrolou částic zabraňuje kontaminaci komory. Použité materiály a povrchové vrstvy minimalizují vývěv a udržují stabilní odrazivost po tisíce hodin provozu, což zabraňuje posunu výkonu lamp a zachovává tepelnou opakovatelnost.