
Ihre IR-Heizgeräte sauber halten – für einen Reinraum der Klasse 100
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Ausgasung. Schon ein winziger Staubteilchen, das von einem Heizelement abbricht, kann dazu führen, dass die gesamte Produktionslinie beeinträchtigt wird.
In einer Halbleiterfabrik eignen sich herkömmliche IR-Lampen in der Regel nicht für diese Anwendung. Sie neigen dazu, bei hohen Temperaturen zu versagen und dabei mikroskopisch kleine Partikel freizusetzen – genau dort, wo man sie auf keinen Fall haben möchte.
Das Geheimnis liegt im Quarz
Deshalb verwenden wir für unsere Schutzschilde hochreinen synthetischen Quarz. Herkömmliches Glas ist einfach nicht sauber genug – es enthält Verunreinigungen, die bei hoher Temperatur zu Gasen werden. Unsere Quarzschilde fungieren wie „Bodyguards“ für Ihre Werkstücke. Sie halten den Wolframfaden davon ab, mit der Luft zu reagieren – dadurch entsteht kein metallischer Staub, der auf Ihre Wafer gelangt.
Warum Quarz tatsächlich funktioniert
Es geht darum, wie das Material mit Hitze umgeht. Quarz verformt oder spröd wird nicht, wenn die Temperatur schnell erhöht wird. Zudem lässt Quarz kurzwelliges Infrarotlicht durch. Die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie benötigt wird – also direkt auf das Werkstück – anstatt in dem Schutzschild stecken zu bleiben.
Aber Achtung!
Quarz ist zwar chemisch stabil, doch er zieht Staubpartikel an seine Oberfläche an. Wenn ein Techniker das Glas mit bloßen Händen berührt, brennen die Hautöle in die Oberfläche ein. Dadurch entstehen „heiße Punkte“, die dazu führen können, dass die Lampe früher kaputt geht. Verwenden Sie unbedingt lintfreie Handschuhe – jede einzelne Zeit.
Integration in Ihre Fabrik
Wir haben diese Schutzschilde so gestaltet, dass sie als Ersatz für Ihre aktuellen Lampen verwendet werden können. Wir achten darauf, dass die Toleranzen gering genug sind, damit die Schutzschilde perfekt passen. Das dient nicht nur der Stabilität – es verhindert auch, dass Luftströmungen Staub in Ihrem Arbeitsbereich aufwirbeln.
Noch ein Tipp: Achten Sie auf Ihre Stromversorgung. Wenn die Spannung stark schwankt, leuchten die Filamente unregelmäßig. Das führt zu einer ungleichmäßigen Erwärmung des Werkstücks – und das ist ein Problem, das Sie wirklich nicht wollen.