Günstige Wafer Trocknungslampenbirne

Mon, 01 Jun 2026 18:06:21 +0800

Auf dem Fertigungsboden kann ein einziger Fehler beim Softbake eine gesamte Lithographieschicht zunichtemachen. Wenn die Trocknungslampe nachlässt, verändern sich die Photoresistprofile und der Ertrag sinkt. Wir haben diese Wafer-Trocknungslampenbirne entwickelt, um dieses Risiko zu minimieren – die thermische Kontrolle bleibt innerhalb der Spezifikationen, ohne das Budget zu sprengen.

Was unter der Haube zählt
Es handelt sich um eine Quarz-Halogenlampe, abgestimmt auf kurzwellige Emission für schnelles und kontrolliertes Erhitzen. Die Temperaturgleichmäßigkeit über den Wafer liegt innerhalb von ±0,1°C, was hilft, kritische Photoresist-Abmessungen während Softbake und Hardbake zu schützen. Die Null-Partikelemission gewährleistet Einhaltung der Reinraumklassen 1–100. Die Geometrie von Filament und Umschließung ist auf stabile Leistung über mehr als 5.000 Stunden ausgelegt, mit einer Wiederholgenauigkeit, die eine Intensitätsdrift von unter 5 % sicherstellt.

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